Přednosti přímé analýzy pevných látek
Odpadá rozklad vzorků, úspora času a chemikálií
.   Odstraní se problémy s rozkladem chemicky rezistentních vzorků (silikáty, speciální keramika a slitiny.....)
3.   Nehrozí vytékání analytu
4.   Eliminace chyb vzniklých nedokonalým převodem vzorku do roztoku -jiné složení fázi (vměstky v oceli, grafit a karbidy v litině, fáze na hranicích zrn...)
5.   Odpadá riziko znečištění vzorků pomocnými chemikáliemi
6.   Neporuší se struktura vzorku - možnost lokální analýzy, sestrojení koncentrační mapy povrchu vzorku
7.   Možnost hloubkového profilování -analýzy povrchových vrstev o tloušťkách nm - mm
8.   Analýza povrchových vrstev v atomárních tloušťkách - důležité pro povrchové vlastnosti materiálů (heterogenní katalýza, adheze, sorpce....)