FC250 Nano- and microtechnologies

Přírodovědecká fakulta
jaro 2015
Rozsah
2/1. 3 kr. (plus ukončení). Ukončení: k.
Vyučující
doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D. (přednášející)
Mgr. Petr Synek, Ph.D. (cvičící)
Garance
prof. RNDr. Mirko Černák, CSc.
Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Předpoklady
Úspěšné absolvování předmětů: Fyzika plazmatu, Fyzika plazmatu 1, Fyzika plazmatu 2
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je otevřen studentům libovolného oboru.
Cíle předmětu
Elektronové zdroje a svazky.
Iontové zdroje asvazky.
Zdroje ionizačního záření.
Technologie na bázi stejnosměrných doutnavých výbojů.
Technologie na bázi stejnosměrných obloukových výbojů.
Technologie na bázi induktivně a kapacitně buzených RF výbojů.
Technologie na bázi mikrovlnných výbojů.
Osnova
  • Elektronové zdroje a svazky.
  • Iontové zdroje asvazky.
  • Zdroje ionizačního záření.
  • Technologie na bázi stejnosměrných doutnavých výbojů.
  • Technologie na bázi stejnosměrných obloukových výbojů.
  • Technologie na bázi induktivně a kapacitně buzených RF výbojů.
  • Technologie na bázi mikrovlnných výbojů.
Literatura
  • ROTH, Reece J. Industrial plasma engineering. Volume 2, Applications to nonthermal plasma processing. Bristol: Institute of Physics Publishing. xi, 645 s. ISBN 0-7503-0544-4. 2001. info
  • ROTH, Reece J. Industrial plasma engineering. Volume 1, Principles. Bristol: Institute of Physics Publishing. xiii, 538. ISBN 0-7503-0317-4. 1995. info
Metody hodnocení
Kolokvium - společná diskuse o jednotlivých tématech
Vyučovací jazyk
Angličtina
Informace učitele
Starší názvy předmětu: Současné plazmochemické technologie, Nano- a mikrotechnologie
Další komentáře
Studijní materiály
Předmět je vyučován jednou za dva roky.
Výuka probíhá každý týden.
S.
Předmět je zařazen také v obdobích jaro 2008 - akreditace, jaro 2011 - akreditace, jaro 2007, jaro 2008, jaro 2009, jaro 2010, jaro 2011, jaro 2012, jaro 2012 - akreditace, jaro 2013, jaro 2017, jaro 2019, jaro 2021, jaro 2023.