2001
Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers - X-ray comparative study
ANOPCHENKO, A., M. JERGEL, E. MAJKOVA a V. HOLYZákladní údaje
Originální název
Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers - X-ray comparative study
Autoři
ANOPCHENKO, A., M. JERGEL, E. MAJKOVA a V. HOLY
Vydání
Physica B, Amsterdam, Elsevier Science, 2001, 0921-4526/00
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/01:00005191
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000171072500003
Změněno: 16. 1. 2002 08:25, prof. RNDr. Václav Holý, CSc.
Anotace
V originále
Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers - X-ray comparative study
Návaznosti
GA202/00/0354, projekt VaV |
|