Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2

@article{197265,
   author = {Janča, Jan and Navrátil, Karel and Bochníček, Zdeněk and Peřina, V.},
   article_location = {Praha},
   article_number = {10},
   language = {eng},
   issn = {0011-4626},
   journal = {Czechoslovak Journal of Physics},
   title = {Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2},
   volume = {45},
   year = {1995}
}

TY  - JOUR
ID  - 197265
AU  - Janča, Jan - Navrátil, Karel - Bochníček, Zdeněk - Peřina, V.
PY  - 1995
TI  - Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2
JF  - Czechoslovak Journal of Physics
VL  - 45
IS  - 10
SP  - 851
EP  - 851
PB  - Academia
SN  - 00114626
ER  - 

JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL, Zdeněk BOCHNÍČEK a V. PEŘINA. Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2. \textit{Czechoslovak Journal of Physics}. Praha: Academia, 1995, roč.~45, č.~10, s.~851-862. ISSN~0011-4626.