JERGEL, M., Petr MIKULÍK, E. MAJKOVÁ, Š. LUBY, R. SENDERÁK, E. PINČÍK, M. BRUNEL, P. HUDEK, I. KOSTIČ a A. KONEČNÍKOVÁ. Structural characterization of a lamellar W/Si multilayer grating. J. Appl. Phys. USA: American Institute of Physics, 1999, roč. 85, č. 2, s. 1225-1227. ISSN 0021-8979.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Structural characterization of a lamellar W/Si multilayer grating
Název česky Strukturní charakterizace planárních W/Si vrstevnatých mřížek
Autoři JERGEL, M., Petr MIKULÍK (203 Česká republika, garant), E. MAJKOVÁ, Š. LUBY, R. SENDERÁK, E. PINČÍK, M. BRUNEL, P. HUDEK, I. KOSTIČ a A. KONEČNÍKOVÁ.
Vydání J. Appl. Phys. USA, American Institute of Physics, 1999, 0021-8979.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Spojené státy
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Impakt faktor Impact factor: 2.275
Kód RIV RIV/00216224:14310/99:00000992
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000077792600086
Klíčová slova anglicky x-ray reflectivity; gratings; multilayers
Štítky gratings, multilayers, x-ray reflectivity
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855. Změněno: 10. 7. 2009 15:28.
Anotace
A lamellar multilayer grating of the nominal normal and lateral periods 8 nm and 800 nm, respectively, was obtained by etching a planar amorphous W/Si multilayer up to the substrate. The specular reflectivity, grating truncation rods of non-zero orders, and a reciprocal space map of the scattered intensity close to the total external reflection were measured using the CuKa radiation. For the first time, we demonstrate an extraction of real structural parameters of a fully etched periodic multilayer grating from fitting the measured truncation rods based on the matrix modal eigenvalue approach to the dynamical theory of reflectivity by gratings.
Anotace česky
A lamellar multilayer grating of the nominal normal and lateral periods 8 nm and 800 nm, respectively, was obtained by etching a planar amorphous W/Si multilayer up to the substrate. The specular reflectivity, grating truncation rods of non-zero orders, and a reciprocal space map of the scattered intensity close to the total external reflection were measured using the CuKa radiation. For the first time, we demonstrate an extraction of real structural parameters of a fully etched periodic multilayer grating from fitting the measured truncation rods based on the matrix modal eigenvalue approach to the dynamical theory of reflectivity by gratings.
Návaznosti
MSM 143100002, záměrNázev: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
VytisknoutZobrazeno: 11. 5. 2024 05:12