HELFEN, L., A. MYAGOTIN, A. RACK, P. PERNOT, Petr MIKULÍK, M. DIMICHIEL a T. BAUMBACH. Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices. Physica stat.sol.(a). roč. 204, č. 8, s. 2760-2765. ISSN 0031-8965. 2007.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices
Název česky Synchrotronová výpočetní laminografie pro 3D zobrazení plochých objektů s velkým rozlišením
Autoři HELFEN, L. (276 Německo), A. MYAGOTIN (643 Rusko), A. RACK (276 Německo), P. PERNOT (203 Česká republika), Petr MIKULÍK (203 Česká republika, garant), M. DIMICHIEL (276 Německo) a T. BAUMBACH (276 Německo).
Vydání Physica stat.sol.(a), 2007, 0031-8965.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Nizozemské království
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Impakt faktor Impact factor: 1.214
Kód RIV RIV/00216224:14310/07:00022443
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000249065000040
Klíčová slova anglicky imaging; laminography; tomography; synchrotron radiation
Štítky imaging, laminography, synchrotron radiation, tomography
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D., učo 855. Změněno: 9. 8. 2007 09:31.
Anotace
Synchrotron-radiation computed laminography (SRCL) is developed as a method for high-resolution three-dimensional (3D) imaging of regions of interest (ROIs) in all kinds of laterally extended devices. One of the application targets is the 3D X-ray inspection of microsystems. In comparison to computed tomography (CT), the method is based on the inclination of the tomographic axis with respect to the incident X-ray beam by a defined angle. With the microsystem aligned roughly perpendicular to the rotation axis, the integral X-ray transmission on the two-dimensional (2D) detector does not change exceedingly during the scan. In consequence, the integrity of laterally extended devices can be preserved, what distinguishes SRCL from CT where ROIs have to be destructively extracted (e.g. by cutting out a sample) before being imaged. The potential of the method for three-dimensional imaging of microsystem devices will be demonstrated by examples of flip-chip bonded and wire-bonded devices.
Anotace česky
Synchrotronová výpočetní laminografie (SRCL) byla vyvinuta jako metoda pro 3D zobrazování s vysokým rozlišením pro oblasti v laterálně velkých objektech, například elektronických mikrosystémech. Ve srovnání s počítačovou tomografií (CT) využívá SRCL nakloněné osy rotace vzhledem k dopadajícímu záření. Potenciál metody je demonstrován na příkladech studia kontaktovaných elektronických čipů.
Návaznosti
MSM0021622410, záměrNázev: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
VytisknoutZobrazeno: 29. 3. 2024 09:23