10. Získávání a měření nízkých tlaků
Jednotky tlaku:
1 Pa = N / m2
1 at = kp / cm2 = 0,9807.105 Pa (technická atmosféra)
1b = 105Pa
1 atm = 760 torr = 1,01325.105 Pa (fyzikální atmosféra)
1 torr = 1,3332.102 Pa = tlak 1 mm sloupce Hg.
10.1. Vyvěvy
YzttiKh
Vodní a pístová vývěva
Lopatková rotační výveva
Výveva s kolujícím rotorem
1
;s^s^¥S3asyjs-yss&yssss^
Turbomolekulární vývěva
i        s
1     •-    u
á
u^uw
vo
Jľff
uidLj^uyijüu Jtl
nänän
1ST
^
huhuh"h
*^^
ri n kj w
Y
^
n
« * m
WMÁi
ý    *
S RS RS         S RS R S
55
Difúzni vývěva
Kondenzační a getrovací vývěvy
10.2. Měření nízkých tlaků
Macleoduv vakuoměr
W
_____/
Membránové manometry
Molekulární vakuoměr
(s-La/		s	
		é	
	ľ	r	
Ionizační vakuoměr
Langmuirův - Dushmanův vakuoměr
Penningův vakuoměr