Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 1
Kalibrace manometrů
Nutná definovaná redukce tlaku.
Metody:
ˇ Statické
­ expanzní metoda
­ metoda pomalého vzrůstu tlaku
ˇ Dynamické
­ metoda s konstantním proudem plynu
­ standartní metoda kalibrace
Nedostatkem statických metod je vliv sorpce a desorpce plynů z povrchu
vakuového systému.
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 2
Expanzní metoda
p2 =
V1
V1 + V2
p1
pokud V1  V2 , pak
p2 
V1
V2
p1 , p2  p1
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 3
Metoda pomalého vzrůstu tlaku
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 4
I = G(p1 - p2)
pro p2  p1, p1  10-1
P a
I = Gp1
I = V2
dp2
d
dp2
d
=
G
V2
p1 = a
pokud je a konstantní pak p2 = p0 + a, pokud p0  0, pak
p2 = a
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 5
Metoda s konstantním proudem plynu
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 6
I = G2(p2 - p1) = G1(p1 - p
)
p2
p1
= 1 +
G1
G2
-
G1
G2
p
p1
= 1 +
G1
G2
1 +
p
p1
pokud S je velká, pak p
 p1
p2
p1
 1 +
G1
G2
p1 =
1
1 + G1
G2
p2
G2  G1 , p1 
G2
G1
p2
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 7
Standartní metoda kalibrace vakuometrů v oboru tlaků 10-1
- 10-5
P a
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 8
Do kalibrační komory vpouštíme známý proud plynu a komoru čerpáme známou
čerpací rychlostí. Pak platí
p =
I
S
Mezi vývěvu a kalirační komoru se zařazuje kruhová clona se známou vodivostí.
Vodivost clony je řádově menší než čerpací rychlost (eliminae fluktuací čerpací
rychlosti). Nutno zajistit izotermičnost měření. Je nutné udržet konstantní proud
plynu I, konstantní čerpací rychlost vývěvy, molekulární režim proudění clonou.
p = I
1
S
+
1
C
Měřící rozsah 10-1
- 10-5
P a, v daném rozsahu nejpřesněší.
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 9
Vakuové napařování tenkých vrstev
Nejčastěji kovové vrstvy (Al, Cu, Fe,...).
Ohřátí substrátu
ˇ průchodem el. proudu
ˇ dopadem elektronů - elektronové dělo
Měření tlouštky vrstvy - pomocí krystalového oscilátoru.
Maximální pracovní tlak  10-2
P a
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 10
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 11
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 12
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 13
Standartní vakuové příruby
ˇ ASA
ˇ ISO-KF (NW)
ˇ ISO-K
ˇ CF
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 14
ASA
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 15
ISO-KF
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 16
ISO-K
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 17
CF