Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 1
Zjišt'ování netěsností vakuového systému
ˇ skutečná netěsnost
ˇ virtuální netěsnost(desorpce)
Místa netěsností:
ˇ v místech svárů
ˇ v místech kovovývh vývodů přes sklo
ˇ ve ventilech, zábrusech, spojích
ˇ u kovových částí - pórovitost materialu
Netěsnost se lépe hledá u skleněných aparatur, problém ulehčuje prověrka
jednotlivých dílů před montáží.
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 2
P
P'
P''
T''
T'
P
t
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 3
Hledače netěsností
Zpravidla využívají měření parciálních tlaků zkušebních plynů
Zkušební plyn:
ˇ plyn málo obsažený v atmosféře
ˇ co nejmenší molekulová hmotnost(snadno proniká netěsností)
Nejčastěji se používá He, H2, Ar.
Hledače:
ˇ vodíkový
ˇ halogenový
ˇ heliový
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 4
Na přesnost určení netěsnosti má vliv:
ˇ množství zkušebního plynu přivedeného do systému
ˇ poměr čerpací rychlosti systému a jeho objemu
ˇ citlivost hledače netěsností
ˇ vzájemná poloha netěsnosti a hledače
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 5
Závislost na poměru čerpací rychlosti systému a jeho objemu
Proud plynu netěsností do aparatury za čas dt je dán INdt, množství
odčerpaného plynu pSdt. Pak změna tlaku je dána rovnicí
V dp = (IN - Sp)dt
V dp
IN - Sp
= dt
-
V
S
ln(IN - Sp) = t + konst
konst = -
V
S
ln(IN)
ln(
IN - Sp
IN
) = -
S
V
t
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 6
IN - Sp
IN
= e- S
V
t
p =
IN
S
[1 - e- S
V
t
]
Jestliže v čase t1 přerušíme přítok zkušebního plynu začne tlak klesat
p =
IN
S
[1 - e- S
V
t1
] e- S
V
(t-t1)
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 7
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 8
Poloha manometru a netěsnosti
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 9
Vodíkový hledač netěsností
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 10
Halogenový hledač netěsností
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 11
Heliový hledač netěsností
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 12
Heliový hledač netěsností
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 13
Jiné metody hledání netěsností
ˇ manometr, diferenciální manometr
ˇ mýdlové bubliny
ˇ u skleněných aparatur - Ruhmkorffův induktor, nebo Teslův transformátor
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 14
Hledání netěsností pomocí manometru
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 15
Hledání netěsností pomocí diferenciálního manometru