Měření proudu plynu / = Sp[Pam3s-1} I = G(p2 - p\) • Pomocí průtokoměru (plovákový, elektronický) • Pomocí prvku se známou vakuovou vodivostí • Pomocí kalibrované byrety a pracovní kapaliny Plynová by ret a 'U* Y 7" \2 Obr. 5.94. Jednoduché zařízení na měření a přípravu určitého proudu plynu ľ - zásobník; 1" - trubice; 2 - k nádobě s kapalinou; 3 - kohouty; 4 - vpouštěcí kohouty; 5 - k vakuové aparatuře □ g - = Obr. 13: Plynová mikrobyreta: M - měrná kapilára s dělením podle objemu; Z - zásobník kapaliny; 0 - ochranná nádobka; K - kohout (pro vyrovnání tlaků), P - přívod plynu; JV - jehlový ventil pro řízené napouštění plynu do vakua. JV □ S - = -=-00,0 M Obr. 7-43b. Měření objemu plynu cirkulující kapkou P — vpouštěný plyn VS — vakuový systém, do nějž se vpouští plyn. S - = ■= "O^P Měření pomocí vodivosti ■í ^ k výveve Obr. 5.95. Vakuové zařízení pro měření proudu plynu 1,2 - vakuometry; G - trubice se známou vodivostí I = G(pi-p2) □ g - = qm = o ť> *2 qm*° □ QU 4 S ► 4 š ► Š -0 0,0 Vakuové tuky a tmely Druh materiálu užití max T [°C] Pp [Pa] při 25 °C maz L maz M maz N maz T zábrus zábrus kohout zábrus 30 30 30 110 10"5 - ÍO"7 10"3 - 10"5 10"4 - 10"5 10"5 tmel picein spoje 60 10"2 - 10"3 Vakuová hygiena Čistota povrchů, odmašťování, vyčištěných dílů se dotýkat pouze v rukavicích. □ s Rozebíratelné spoje • ISO-KF , (NW) • ISO-K, ISO-F • CF ISO-KF 2.5 < GD >///////. w •15' □ g? - = -E-OQ^O ISO-K, ISO-F □ g - = -=-00,0 CF □ g - = s -O Q* O OF H C Copper Gasket = f -ŕ I 0^ i p.-- Sealants Temperature range Reusable Elastomer Neoprene (CR) -40 to 100 °C yes Viton(FPM) -15 to 150 °C yes Metals Indium -196 to 60 °C yes Aluminum -196to200°C no Copper -196 to 200 °C no Copper, silver-plated -270 to 450 °C no Load lock Linear guide 250-28 x .50 □ g - = 100 uv- IR c I ___ ■—, Kodial Sap hire / *"*" 80 / \ \ 60 ■ / 1 1 \ 40 j j Bore , ?0 / 0 / 100 150 200 300 400 700 1000 1500 2000 4000 6000 10000 Wave length [nm] □ s ~ Značky Vacuum pump, general Diaphragm in vacuum pump ©f) Turbomolecular pump Diffusion pump*) Q)/j Scroll pump*) P>