Měření proudu plynu
/ = Sp [Pa m3s-1] I = G{p2 - pi)
• Pomocí průtokoměru (plovákový, elektronický)
• Pomocí prvku se známou vakuovou vodivostí
• Pomocí kalibrované byrety a pracovní kapaliny
Plynová byreta
Obr. 5.94. Jednoduché zařízení na měření a přípravu určitého proudu plynu /' — zásobník; 1" — trubice; 2 — k nádobě s kapalinou; 3 - kohouty; 4 - vpouštěcí kohouty; 5 - k vakuové aparatuře
□ &
Obr. 13: Plynová mikrobyreta: M - měrná kapilára s dělením podle objemu; Z - zásobník kapaliny; O - ochranná nádobka; K - kohout (pro vyrovnání tlaků), P - přívod plynu; JV - jehlový ventil pro řízené napouštění plynu do vakua.
< D ►   <S ►   < -š ►   < ^ ►
Měření pomocí vodivosti
Í 7 I k vyvevč
Obr. 5.95. Vakuové zařízení pro měření proudu plynu
1,2 - vakuometry; G - trubice se známou vodivostí
I = G(pi - P2)
< □ ►   4 (5? ► 4
Vakuové tuky a tmely
Druh materiálu	užití	max T [°C]	Pp [Pa] při 25 °C
maz L	zabrus	30	10 b - 1(T'
maz M	zabrus	30	10-3 _ 10-5
maz N	kohout	30	io-4 - 10-5
maz T	zabrus	110	10~5
tmel picein	spoje	60	IQ-2 _ IQ-3
Vakuová hygiena
Čistota povrchů, odmašťování, vyčištěných dílů se dotýkat pouze v rukavicích.
Rozebíratelné spoje
• zábrusy - zejména skleněné aparatury
• ISO-KF , (NW)
• ISO-K, ISO-F
• CF
4 □ ►   4 (5? ► 4
ISO-KF
ISO-K, ISO-F
OFHCCopper Gasket
Sealants
	Temperature range	Reusable
Elastomer		
Neoprene (CR)	-40 to 100 °C	yes
Viton(FPM)	-15 to 150 °C	yes
Metals		
Indium	-196 to 60 °C	yes
Aluminum	-196 to 200 °C	no
Copper	-196 to 200 °C	no
Copper, silver-plated	-270 to 450 °C	no
Load lock
F4160        15 / 23
Výroba solárních článků
Plasma -% SiH4 + PH3 SiH„ SiH4+B2H6 Substrate ShutterA    (JD @ (fc
snuner-i \
±
±
±
Vacuum n-Chamber ■
Ur
v i ■ i ■ li     i   i li lil     i 'lil i 11 i
K+W? I-H4#; I-
j-Chamber
■ p-Chamber
Pokovení skel
Glass Process Process
Isolation        nange Isolation Range
Pumping Pumping
Si - substráty
'4160        19 / 23
Značky
Vacuum pump, general
Diaphragm in vacuum pump
Turbomolecular pump
Diffusion pump*)
Scroll pump*)
J^X^j   Shut-off device, general D^\^    Right angie valve
Cold trap, general
Vacuum measurement, vacuum gauge head
I Í)   Roots vacuum pump*)
Navazující přednášky:
Vakuová fyzika 2 - F6450
• Vázané plyny
• Sorpční vývěvy
• kryogenní
• zeolitové
• sublimační
• iontové
• nevypařované getry -NEG
• Měření ve vakuové fyzice
• měření proudu plynu
• měrění tenze par plynu
• Konstrukční prvky vakuových zařízení - vhodné materiály, spoje,...
Praktikum z vakuové fyziky - F7541
O Graduace ionizačního manometru se žhavenou katodou
Q Měření vodivosti vakuových spojů
© Kalibrace Piraniho manometru
© Graduace Peningova manometru
Q Čerpací efekt molekulového síta
© Hmotový spektrometr
O Měření čerpací rychlosti metodou konstantního tlaku
© Naparování tenkých kovových vrstev a měření čerpací rychlosti metodou konstantního objemu
F4160        22 / 23
Zkouška
test 10 otázek + 2 příklady, maximum 20 bodu
A	18 - 20
B	15 - 17
C	12 - 14
D	9 - 11
E	6 - 8
F	0 - 5