Masarykova univerzita v Brně Přírodovědecká fakulta ________________________________________________________________ Předmět: Principy polovodičových součástek Akad. rok: 2013/14 (letní semestr) Okruhy ke zkoušce ZÁKLADY FYZIKY POLOVODIČŮ Pásový model pevných látek Hustota stavů Fermi-Diracova distribuční funkce Hustota elektronů a děr KINETICKÉ JEVY V POLOVODIČÍCH Boltzmanova transportní rovnice Rozptyl nositelů náboje Elektrická vodivost polovodičů Závislost pohyblivosti nositelů náboje na teplotě Nárazová ionizace Zenerův jev (tunelování nositelů) GENERACE A REKOMBINACE NEROVNOVÁŽNÝCH NOSITELŮ NÁBOJE Rovnovážné a nerovnovážné nositele náboje Světelná generace nositelů náboje Bipolární generace Monopolární generace Rekombinace nositelů náboje Mezipásová zářivá rekombinace Mezipásová nárazová (Augerova) rekombinace Rekombinace přes lokální centra Povrchová rekombinace Rekombinační centra Závislost rekombinace přes záchytné centra na koncentraci příměsí Záchytná a rekombinační centra DIFÚZE A DRIFT NEROVNOVÁŽNÝCH NOSITELŮ NÁBOJE Rovnice kontinuity Difúzní a driftový proud Pohyb nerovnovážných nositelů náboje Objemová rekombinace Povrchová rekombinace Povrchová generace a objemová rekombinace PŘECHOD PN Souvislost mezi pásovým modelem a elektrostatickými veličinami Strmý přechod pn Lineární přechod pn Charakteristiky kapacita-napětí přechodu pn VOLTAMPÉROVÁ CHARAKTERISTIKA PŘECHODU PN Závěrný směr Generační proud Difúzní proud Propustný směr Difúzní proud Rekombinační proud Vliv vysoké injekce PRŮRAZNÉ MECHANISMY PŘECHODU PN Zenerův průraz (tunelování nositelů) Lavinový průraz Druhý průraz Omezení pro reálné přechody pn Planární přechod Epitaxní dioda Měkké průrazy Přechodné děje BIPOLÁRNÍ TRANZISTOR, DEFINICE ZÁKLADNÍCH EL. PARAMETRŮ Princip činnosti tranzistoru KLASICKÝ MODEL TRANZISTORU Základní rovnice Předpoklady řešení Proudy tekoucí tranzistorem Proudový zesilovací činitel ROZŠÍŘENÍ KLASICKÉHO MODELU Gradient koncentrace příměsí v bázi a emitoru Vliv silné injekce nosičů Modulace vodivosti báze (Webster effect) Odpor aktivní báze a zhušťování proudu (Current crowding) Rozšiřování neutrální báze (Kirk effect) Zužování neutrální báze (Early effect) Vliv vysoké koncentrace příměsí v bázi a emitoru Pohyblivost nositelů náboje Zúžení šířky zakázaného pásu Augerova rekombinace Rozšíření klasického modelu tranzistoru MEZNÍ HODNOTY NAPĚTÍ NA TRANZISTORU Maximální hodnoty napětí Lavinový průraz (Avalanche breakdown) Průnik (Punch-through) Minimální hodnoty napětí VYSOKOFREKVENČNÍ VLASTNOSTI A ŠUM TRANZISTORU Kmitočtová závislost proudového zesilovacího činitele Kmitočtová závislost zisku Závislost mezního kmitočtu na fyzikálních parametrech tranzistoru MIS DIODA Energetický diagram ideálního MOS kapacitoru Náboj rozložený pod povrchem polovodiče Rozložení náboje, elektrického pole, potenciálu a pásový diagram MOS struktury ze zjednodušeného řešení Poissonovy rovnice Model respektující pevný a pohyblivý náboj Rozdíl výstupní práce ( kov-polovodič a polovodič-polovodič) Podmínka vyrovnání pásů C-V KŘIVKY C-V křivky MOS kapacitoru C-V křivky nf, vf a hlubokého vyčerpání Vliv frekvence Vliv dotace a tloušťky oxidu na C-V křivky Vliv světla a teploty na C-V křivky Akumulace, ochuzení, hluboké ochuzení a inverze C-t křivky SHR rekombinace – generace Generační doba života minoritních nosičů Generačně-rekombinační centra v zakázaném pásu křemíku Elektrofyzikální model skutečné MIS diody Klasifikace nábojů skutečné MIS struktury Pevný náboj v oxidu Qf Náboj mobilních iontů Qm Náboj zachycený rozhraním Qit Oxidem zachycený náboj Qot Napěťově – teplotní testy (Bias-Temperature test ) STUDIUM POVRCHOVÝCH EFEKTŮ Analytické metody a struktury pro studium povrchových vlastností struktur Kanálová vodivost Hradlem řízený pn-přechod Nerovnovážná analýza Rekombinačně-generační proces v povrchové oblasti prostorového náboje Polem indukované přechody a kanálové proudy. Vliv povrchových efektů na průrazné napětí přechodu Nestability prahového napětí-BT testy MOS TRANZISTOR Princip činnosti Volt-ampérové charakteristiky. Lineární oblast Volt-ampérové charakteristiky. Saturační oblast Body efekt Modulace délky kanálu Prahové napětí a jeho nastavení Typy MOSFETů Aplikace MOS kapacitorů a MOS tranzistorů Nábojově vázané prvky CCD. MOSFET v provedení LOCOS Struktura CMOS ( Complementary MOS transistors ) Struktura výkonového tranzistoru VDMOS Struktura výkonového tranzistoru IGBT