F3390
Výroba mikro a nanostruktur
RNDr. Jozef Ráheľ, Ph.D.
rahel@mail.muni.cz
Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
jasek@physics.muni.cz
Ústav fyzikální elektroniky
Poznámky k přednášce
• Primárně určená pro 2. roč. PřF B-AF NAN
– navazuje na F3370 - Úvod do nanotechnologií
– případně F6540 - Fyzikální principy technologie výroby
polovodičů ?
• Zkouška:
- písemná zkouška, krátké odpovědi na předem zveřejněné
otázky, známka podle počtu dosažených bodů, min. 70%
- 10 otázek z každé lekce, náhodně vybráno 20 otázek do
testu – 1-2 z každé lekce. Požadováno 15 bodů z 20,
hodnoceno po 0,5 bodu.
- ústní zkouška dobrovolná
• Aktuálně odpřednášená přednáška se objeví na IS mezi
studijními materiály k F 3390
Sylabus – 14 týdnů
Úvod (dnes)
Ráheľ J.
26.2 Mikroobrábanie, príprava hrubých vrstiev
5.3 Mikroobrábanie, príprava tenkých vrstiev
12.3 Úvod do fyziky povrchov - čo sa deje pri "lepení" atómov na povrch
19.3 Prenos vzoru (patterning), fotóny, nabité zväzky, sondové metódy
26.3 Leptanie a lepenie
2.4 Nanovlákna a electrospining
Jašek O.
9.4 Způsoby výroby nanostruktur - samouspořádaní (self-assembly)
16.4 Uhlíkové nanostruktury - fullereny, nanotrubky
23.4 Uhlíkové nanostruktury - nanotrubky, grafén
30.4 Ostatní dvoudimenzionální nanostruktury
7.5 Nanočástice 1
14.5 Nanočástice 2
21.5 Předtermín