Byl proveden následující experiment


  * Ti terč průměru 7.5 cm byl odprašován
  * plazma bylo buzené DC zdrojem o středním výkonu 600 W
  * vývěva byla na rozdíl od předchozího případu maximálně škrcená
  * držák substrátu se otáček 5 otáček/min
  * průtok Ar byl 2 sccm


Uvádím závislost napětí na průtoku dusíku pro dva případy, dusík byl zvyšován od nuly do 2.5 sccm a
následně byl jeho průtok snižován. Je jasně vidět hysterezní křivka s charakteristickým přechodem
od kovového do reaktivního módu  (mezi 1.25 a 1.50 sccm dusíku) a s přechodem od reaktivního
k kovovému módu (ten nastal mezi 0.5 a 0.25 sccm dusíku).













Na následujícím obrázku je uvedena závislost tlaku na průtoku dusíku pro stejný experiment (černě),
baratron bohužel neměří tlaky vyšší než 12.4 Pa, proto některá data chybí. Červeně je uvedená
závislost tlaku na průtoku dusíku pro situaci, kdy bylo plazma vypnuté – z té jde určit čerpací
rychlost vývěvy. Rozdíl mezi červenou křívkou (bez plazmatu a odprašování) a černou křivkou (s
plazmatem a odprašováním) je způsobený zabudováváním dusíku do rostoucí vrstvy, který pan chybí
v objemu a tlak je menší.



















Měřená data


Průtok  Tlak     Napětí  Tlak bez plazmatu

0          8.33     181      8.34

0.25     8.35     183      9.44

0.5       8.4       185      10.4

0.75     8.43     187      11.4

1          8.5       188

1.25     8.6       189

1.5       12        270

1.75     --         275

2          --         273

2.5       --         279

1.5       --         274

1.25     --         271

1          11.8     266

0.75     10.9     257

0.5       9.66     246

0.25     8.52     185

0          8.33     181