Kalibrace manometrů Přímé porovnání Redukce tlaku • metody statické • metody dynamické Pomalý nárůst Molekulární proud Statická expanze Vi V2 Vn-l >1 + V2 ' V2 + V3 " ' Vn-x + Vn V2 = 1000 cm3

7] i r k výveve s velkou čerpoa rychlosti Obr. 5.92. Aparatura pro kalibraci vakuometrů metodou s konstantním proudem. Místo dvou vakuometrů (7,8) je možno použít jen jeden (9) s dvoucestným kohoutem (10); 1,10 — kohouty; 2,4,6 — komory; 3,5, 7, 8, 9 — vakuometry; Gt, G2 — vodivosti otvorů mezi příslušnými komorami J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 1 3/35 I = G2(P2 - Pi) = G1(p1 -p') P2 = i + ^(i-^) pí g2 pro velkou čerpací rychlost p' 1 (Ľ .1 0.3 0.1 10 10"! S s, s. N. N. t_ [ e; Jynamic n Mole cufar Static expansi beam ^— — on «—U-T jbe—•> 106 m3 Pressure [mbar] 10" 103 Fig 3.17 Pressure scale of Federal Physical- Technical Institute (PTB), Berlin, (status as at August 1984) for inert gases, nitrogen and methane firemní materiály firmy Pfeiffer Vakuová fyzika 1 □ \3 5 ^) c\ o Ur [% of MV] 10,0000 1,0000 -■ D.10DCI - 0,0100 0,0010 -■ 0,0001 -9 -o -1 o P [10* Pa] i-1-1-1-1-1-1-r 23456769 ABSOLUTE PRESSURE IH G AS G AUG E PRESS U RE IN L IQ U ID 1j materiály CMI Vakuová fyzika 1 10 / 35 Měření proudu plynu I = Sp [PamV1; I = G(p2 - pi) Pomocí průtokoměru (plovákový, elektronický) Pomocí prvku se známou vakuovou vodivostí Pomocí kalibrované byrety a pracovní kapaliny Plynová byreta T 1 \2 Obr. 5.94. Jednoduché zařízení na měření a přípravu určitého proudu plynu ľ — zásobník; 1" — trubice; 2 — k nádobě s kapalinou; 3 - kohouty; 4 - vpouštěcí kohouty; 5 - k vakuové aparatuře J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 □ Vakuová fyzika 1 = Obr. 13: Plynová mikrobyreta: M - měrná kapilára s dělením podle objemu; Z - zásobník kapaliny; 0 - ochranná nádobka; K - kohout (pro vyrovnání tlaků), P - přívod plynu; JV - jehlový ventil pro řízené napouštění plynu do vakua. J.Král: Cvičení z vakuové techni JV 0 , ČVUT Praha 1996 □ {3 Obr. 7-43b. Měření objemu plynu cirkulující kapkou P — vpouštěný plyn VS — vakuový systém, do nějž se vpouští plyn. L. Pátý: Fyzika nízkých tlaků, Academia, Praha 1968 Vakuová fyzika 1 14 / 35 Měření pomocí vodivosti JL 4P k výveve Obr. 5.95. Vakuové zařízení pro měření proudu plynu 1,2 - vakuometry; G — trubice se známou vodivostí I = G(pi - p2) J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 <3 Vakuová fyzika 1 = S.Ďaďo, LBejček, A. Platil: Měření průtoku a výšky hladiny, Ben, Praha 2005 Vakuová fyzika 1 16 / 35 Vakuové tuky a tmely Druh materiálu UZltl max T [°C] Pp [Pa] při 25 °C maz L zabrus 30 10~5 - 10~7 maz M zabrus 30 10~3 - 10~5 maz N kohout 30 10~4 - 10~5 maz T zabrus 110 10-5 tmel Picein spoje 60 10~2 - 10-3 Vakuová hygiena Čistota povrchů, odmašťování, vyčištěných dílů se dotýkat pouze v rukavicích. 700 200 300 500 700 1000 2000 3000 Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Rozebíratelné spoje ISO-KF (NW) - 10, 16, 25, 40, 50 ISO-K - 63, 80, 100, 160, 200, 250, CF - 16, 25, 40..... 350 Vakuová fyzika 1 19 / 35 ISO-KF firemní materiály firmy Pfeiffer Vakuová fyzika 1 20 / 35 ISO-K CF Vakuová fyzika 1 22 / 35 ; ^0-3-0-4 j 1-6 VvyyvvS 9- Fig. 7.39 The Conflat seal ÍVarian). After Wheeler and Carlson (1962). A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 1 23 / 35 tesnení min. tep. [°C] max. tep. [°C] elastomer FKM -15 150 NBR -25 120 silikon -55 200 kov Cu -196 200 Cu + Ag -196 450 Vakuová fyzika 1 24/35 Load lock Výroba solárních článků Plasma-y SiH^ + PH Shutter SiH., 4> SiH4 + B2H6 Substrate Vacuum n-Chamber I /-Chamber nir i p-Charnber nlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Pokovení skel Glass Flow Process Pumping Process Pumping Cathodes Isolation Tunnel Isolation Pumping Flange Isolation Range Pumping F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Vakuová fyzika 1 27 / 35 Si - substráty Modular Process Zones Gate Valve MPZ 4 Sputtering Chamber CVD Door with Viewport Substrate Entry F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Vakuová fyzika 1 28 / 35 100 150 200 300 400 700 1000 1500 2000 4000 6000 10000 Wave length [nm] firemní materiály firmy Pfeiffer Vakuová fyzika 1 29 / 35 Schémata Vakuové značky norma DIN 28401 vývěva - obecný symbol membránová výveva turbomolekulární výveva difúzni výveva Rootsova vývěva Scroll vývěva Vakuová fyzika 1 30 / 35 rotační lopatková vývěva pístová výveva vodokružní výveva sublimační vývěva průtokoměr manometr Vakuová fyzika 1 31 / 35 rozebíratelný spoj flexibilní spoj vymrazovačka vakuová komora ventil - obecný symbol deskový ventil [l * ventil ovládaný ručně pneumatický ventil elektromagnetický ventil Vakuová fyzika 1 33/35 Navazující přednášky Vakuová fyzika 2 - F6450 • Vázané plyny • Sorpčnívývěvy • kryogenní • zeolitové • sublimační • iontové • vypařované getry • nevy párované getry - N EG • Měření ve vakuové fyzice • měření proudu plynu • měření tenze par plynu • Konstrukční prvky vakuových zařízení - vhodné materiály, spoje,... Vakuová fyzika 1 34/35 Praktikum z vakuové fyziky - F7541 1. Měření vodivosti vakuových spojů 2. Kalibrace Piraniho manometru 3. Graduace Peningova manometru 4. Měření parciálních tlaků 5. Měření čerpací rychlosti metodou konstantního tlaku 6. Naparování tenkých kovových vrstev 7. Kalibrace ionizačního manometru se žhavenou katodou 8. Čerpací efekt molekulového síta 9. Měření čerpací rychlosti turbomolekulární vývěvy 10. Seznámení s iontovou vývěvou