1 J. Humlíček FKL II JS2018 úterý 3.4. 13:00 ÚFKL 7. Příměsové stavy Polovodiče: malé množství (vhodných) příměsí ovlivňuje velmi silně vedení elektrického proudu. Modifikace výchozího („čistého“) materiálu se obvykle označuje jako doping. Bodové (vakance, substituční nebo intersticiální příměs) a čárové defekty (dislokace), komplexy (např. Frenkelův pár vakance-intersticiál), precipitáty. Donory a akceptory, v Si hlavně P, As, Sb a B, Ga, In. Obvyklé dělení podle výsledných elektronových stavů: mělké (vodíkupodobné) a hluboké příměsi. Mělké příměsi, aproximace efektivní hmotnosti Stíněný Coulombovský potenciál donoru: 0 ˆ ( ) , 4    d r e V r r (7.1) kde r je relativní permitivita hostitelského krystalu. Elektron patřící k donorovému atomu se řídí Schroedingerovou rovnicí 0ˆ ˆ( ) ( ) ( ) ,dH e V r E r     (7.2) kde H0 je jednoelektronový Hamiltonián neporušeného krystalu. Wannierovy funkce jsou definovány pomocí diskrétní Fourierovy transformace Blochových funkcí (vlastních funkcí jednoelektronového Hamiltoniánu); pro n-tý pás je tato a zpětná Fourierova transformace 1 ( ) exp( ) ( ) , 1 ( ) exp( ) ( ) . l j n j l j nk k j n jnk R a r R ik R r N r ikR a r R N                    (7.3) Ve výrazu pro Wannierovu funkci an sčítáme přes kvazikontinuum vlnových vektorů z první Brillouinovy zóny, ve zpětné transformaci pak přes mřížové vektory základní BornovyKármánovy oblasti krystalu, viz definici (1.13); N=N1N2N3 je počet primitivních buněk v této oblasti. 2 Blochovy (vlevo) a Wannierovy (vpravo) funkce. Kroužky jsou mřížové polohy, zelené čáry jsou rovinné vlny eikx . Wannierovy funkce jsou lokalizovány kolem mřížových bodů, jak je schematicky znázorněno v hořejším obrázku. Lokalizace může být velmi výrazná (exponenciální, pro jednodimenzionální případ: W. Kohn, Phys. Rev. 115, 809 (1959)), viz také Marzari et al., REVIEWS OF MODERN PHYSICS, VOLUME 84, OCTOBER–DECEMBER 2012. Wannierovy funkce ( )  n ja r R jsou vlastními funkcemi vektorového operátoru ˆ R , příslušné k vlastní hodnotě Rj (t.j. k j-tému mřížovému vektoru): ˆ ( ) ( ) .        n j j n jRa r R R a r R (7.4) Vyjádříme-li obecnou vlnovou funkci jako lineární kombinaci stacionárních stavů jednoelektronového Hamiltoniánu bez příměsi, tedy Blochových funkcí, , , 1 ( ) ( ) ( ) ( ) exp( ) ( ) , jl l n l n l l j n jnk Rn k n k r A k r A k ik R a r R N                 (7.5) najdeme výsledek působení operátoru ˆ R na ni ve tvaru 3   , , 1ˆ ( ) ( ) exp( ) ( ) 1 = ( ) exp( ) ( ) . jl jl n l l j j n j Rn k n l l j n jk Rn k R r A k ik R R a r R N A k i ik R a r R N                          (7.6) V posledním vztahu aproximujeme kvazikontinuum možných hodnot vektoru kl spojitou množinou; v této limitě nekonečného krystalu používáme operátor gradientu tak, že exp( ) exp( )l j j l jk ik R iR ik R      (7.7) pro každý vektor kl. Formuli (7.6) můžeme ještě upravit do následujícího tvaru:   , , , ˆ ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) . l l l l l l n l n lk nk k nk n k n k n lk nk n k R r i A k r i A k r i A k r                                       (7.8) První suma v horním řádku formule (7.8) je nulová; v aproximaci nekonečného krystalu přejde totiž sumace přes k na objemový integrál přes Brillouinovu zónu a ve výsledku jsou rozdíly součinů A v ekvivalentních bodech na opačných stěnách BZ. Vlnovou funkci (7.5) můžeme také vyjádřit jako lineární kombinaci Wannierových funkcí, , ( ) ( ) ( ) ;      j n j n j n R r C R a r R (7.9) koeficienty Cn se označují jako obálkové funkce. S pomocí vztahu (7.5) dostáváme , 1 ( ) ( )exp( ) ( ) , j l n l l j n j n R k r A k ik R a r R N                  (7.10) koeficienty Cn jsou tedy Fourierovou transformací koeficientů An. Použijeme analogii vztahu (7.7) pro sledování změn našich funkcí na vzdálenostech mnohem větších než jsou vzdálenosti nejbližších sousedů v krystalové mříži, exp( ) exp( ) .l j l l jR ik R ik ik R      (7.11) 4 V hledání elektronové struktury krystalu s poruchou, tedy řešení vlnové rovnice (7.2), vyjdeme z elektronové struktury neporušeného krystalu. Vybereme n-tý pás energií, s Blochovými vlastními funkcemi a disperzní závislostí energie 0 ( )nE k  : 0 0 , , ˆ ( ) ( ) ( ) .nn k n k H r E k r     (7.12) S uvážením vztahu (7.11) můžeme operátor energie, působící na obálky Wannierových funkcí příslušných k n-tému pásu, vyjádřit ve tvaru  0 0ˆ .w n R H E i   (7.13) Dále je třeba přidat poruchu; jednoduchý popis elektronové struktury krystalu s příměsí vychází z předpokladu, že se potenciál (7.1) mění málo na vzdálenosti mřížkové konstanty. V tomto případě totiž nahradíme polohovou závislost ˆ dV ve vztahu (7.2) závislostí na vektoru R a rovnici pro obálkovou funkci a příslušné vlastní hodnoty energie E dostaneme ve tvaru  0 ( ) ( ) ( ) .n d n nR E i V R C R EC R          (7.14) Abychom ji mohli použít, musíme vzít konkrétní funkční závislost 0 ( )nE k  disperzní relace ntého pásu energií, do které vložíme vektorový operátor gradientu. Zde zvolíme jednoduchou parabolickou závislost pro izotropní nedegenerovaný pás (typicky kolem minima vodivostního pásu ve středu Brillouinovy zóny, jako např. v GaAs): 2 2 0 * ( ) (0) . 2 n c k E k E m     (7.15) Rovnice (7.14) pro obálky Wannierových funkcí je pak   2 * ( ) ( ) (0) ( ) . 2 d cR V R C R E E C R m               (7.16) Má tvar Schroedingerovy rovnice pro částici s hmotností m*, pohybující se v potenciálu dV s tím, že její energie odečítáme od energie dna vodivostního pásu. Vlnovou funkci dostaneme vynásobením obálkové funkce a Wannierových funkcí podle vztahu (7.9). Tento přístup k řešení daného problému se označuje jako aproximace efektivní hmotnosti. Rovnice (7.16) s centrálně symetrickým potenciálem (7.1) je ekvivalentní kvantovému popisu elektronu v atomu vodíku. Rozdíl je v tom, že musíme počítat s efektivní hmotností elektronu a Coulombovské přitahování ke kladnému iontu příměsi je zeslabeno stíněním elektrony v hostitelském krystalu, které se projevuje dělením permitivitou ve vztahu (7.1). Stacionární 5 stavy jsou diskrétní (vázané) i kontinuální (delokalizované), ve kterých se elektron dostává do delokalizovaných stavů hostitelského krystalu nad dnem vodivostního pásu. Z analogie s atomem vodíku můžeme energii En vázaných stavů napsat jako   4* 0 22 2 22 0 0 1 1 (0) = , 1,2,..., 2 4 n c r e mm R E E n m n n        (7.17) kde n je hlavní kvantové číslo, e je elementární náboj a m0 klidová hmotnost volného elektronu; symbolem R jsme označili Rydbergovu konstantu donorového elektronu. Pro m*=r=1 (izolovaný atom vodíku) je R=13.6 eV, pro m*≈0.1 a r≈10 se tato hodnota zmenší na zhruba 14 meV. Bohrův poloměr donorového stavu je v našem modelu 2 * 0 0 * 2 0 4 ,r m a m e m     (7.18) s obálkovou vlnovou funkcí nejnižšího stavu (1s) * 1 * 3 1 ( ) . ( ) R a sC R e a   (7.19) Bohrův poloměr (7.18) je proti hodnotě pro izolovaný vodíkový atom (0.0529 nm) mnohem větší díky typicky velkým hodnotám relativní permitivity a malým efektivním hmotnostem. Obálky Wannierových funkcí (koeficienty C) jsou tedy typicky významně odlišné od nuly pro velký počet uzlů mříže. Naopak, koeficienty A ze vztahu (7.5) u Blochových funkcí jsou významně odlišné od nuly pouze pro malý počet (diskrétních) hodnot vlnového vektoru. Tuto souvislost můžeme vysvětlit tím, že oba systémy koeficientů jsou navzájem vázány Fourierovou transformací (jsou v tomto smyslu sdružené), viz (7.9) a (7.10). Pro posouzení dopadu exponenciálního poklesu obálky C můžeme využít Fourierovy kosinové transformace       * * * 2 2* 2 * 0 1/ ( ) cos . 1 1/ R a a a A k e kR dR a k k a         (7.20) Pro * 1/k a poklesne hodnota A na jednu polovinu svého maxima (v k = 0) a tato funkce je tím „užší“, čím „širší“ je obálka C. Hořejší vztah (7.20) je speciálním případem obecnějšího principu neurčitosti pro funkci f a její Fourierův obraz F: 1 1 ( ) ( ) , ( ) ( ) ; 2 2 i t i t F e f t dt f t e F d               (7.21) pro dvě reálná čísla T a W, definovaná jako 6 2 2 2 2 2 21 1 | ( ) | , | ( ) | ,T t f t dt W F d E E           (7.22) kde 2 2 | ( ) | | ( ) | ,E f t dt F d         (7.23) totiž platí nerovnost 1 . 2 TW  (7.24) Tento výsledek znamená, že funkce f a F nemohou být obě malé, zároveň také fakt, že „zužování“ jedné z nich znamená současné „rozšiřování“ druhé. Toto je užitečné zjištění i v našem konkrétním problému donorových stavů; se zvětšováním n klesá vazební energie úměrně 1/n2 , vlnová funkce tedy zaujímá objem úměrný n2 . Vyšší excitované stavy tedy mohou být lépe popisovány hořejším modelem než stav základní. Prakticky velmi důležité jsou donorové stavy v případě anizotropních vodivostních pásů hostitelských krystalů (např. Si, Ge, GaP). Díky krystalové symetrii jsou navíc minima vodivostního pásu degenerovaná a započtení polohové závislosti interakce v bezprostředním okolí donoru vede k tzv. „valley-orbit coupling“. Předchozí aproximaci efektivní hmotnosti je třeba modifikovat. Posoudíme podrobněji případ křemíku, s šesti ekvivalentními minimy vodivostního pásu poblíž okraje Brillouinovy zóny X (směr [100] neboli ). V prvním kroku je třeba modifikovat rovnici (7.16) pro obálkové funkce; ke každému minimu s j = 1,...,6 máme 2 0* 2 ( ) ( ) ( ) ( ) , 2 t l d j c j t l V R R E E k R m m m                       (7.25) kde mt a ml jsou po řadě transverzální a longitudinální efektivní hmotnosti (0.19m0 a 0.92m0 pro Si). Přibližné řešení této rovnice je možné hledat variačně, s vhodnou volbou parametrizované zkušební funkce, která respektuje snížení symetrie z kulové na válcovou. Známé jsou práce Kohna a Luttingera z roku 1955, používající funkci  2 2 2 ( ) , a y z bx x R e       (7.25) kde směr x je zvolen podél longitudinální osy příslušného minima. 7 Schematická pásová struktura přímého polovodiče s donorovými stavy s n=1,2 a 3. Vazebná energie (stavu s n=1) mělkých donorů v několika polovodičích se strukturou ZnS, v meV. V prostředním sloupci je hodnota spočtená ze vztahu (6.17), v pravém jsou experimentální data pro obvyklé donorové příměsi. 8 Spočtené a změřené mělké donorové hladiny v Si. 9 0 200 400 0.0 0.5 1.0 1.5 1s(A1 )->cb ->2p+/- 1s(A1 )->2p0 ->2p+/- 1s(T2 ) 1s(E) ->2p0 1s(T2 ) 15K 25 45 75 TransN7-Sig1TD 200 65 300K 100 WAVENUMBER (cm -1 ) Si:P 7.87  -1 cm -1 5.59x10 16 cm -3 1 ( -1 cm -1 ) 1s(E) Reálná část vodivosti spočtená z transmisního spektra Si:P (5.59E16 cm-3 ) při různých teplotách. Nejnižší vázaný stav akceptoru (v meV) porovnaný s výsledkem výpočtu se sférickou symetrií. 10 Spočtené a změřené mělké akceptorové hladiny v Si.