1 J. Humlíček FKL II 7. Příměsové stavy Polovodiče: malé množství (vhodných) příměsí ovlivňuje velmi silně vedení elektrického proudu. Modifikace výchozího („čistého“) materiálu se obvykle označuje jako doping. Bodové (vakance, substituční nebo intersticiální příměs) a čárové defekty (dislokace), komplexy (např. Frenkelův pár vakance-intersticiál), precipitáty. Donory a akceptory, v Si hlavně P, As, Sb a B, Ga, In. Obvyklé dělení podle výsledných elektronových stavů: mělké (vodíkupodobné) a hluboké příměsi. Mělké příměsi, aproximace efektivní hmotnosti Stíněný Coulombovský potenciál donoru: 0 ˆ ( ) , 4    d r e V r r (7.1) kde r je relativní permitivita hostitelského krystalu. Elektron patřící k donorovému atomu se řídí Schroedingerovou rovnicí 0ˆ ˆ( ) ( ) ( ) ,dH e V r E r     (7.2) kde H0 je jednoelektronový Hamiltonián neporušeného krystalu. 2 Wannierovy funkce jsou definovány pomocí diskrétní Fourierovy transformace Blochových funkcí (vlastních funkcí jednoelektronového Hamiltoniánu); pro n-tý pás je tato a zpětná Fourierova transformace 1 ( ) exp( ) ( ) , 1 ( ) exp( ) ( ) . l j n j l j nk k j n jnk R a r R ik R r N r ikR a r R N                    (7.3) Ve výrazu pro Wannierovu funkci an sčítáme přes kvazikontinuum vlnových vektorů z první Brillouinovy zóny, ve zpětné transformaci pak přes mřížové vektory základní Bornovy-Kármánovy oblasti krystalu, viz definici (1.13); N=N1N2N3 je počet primitivních buněk v této oblasti. 3 Blochovy (vlevo) a Wannierovy (vpravo) funkce. Kroužky jsou mřížové polohy, zelené čáry jsou rovinné vlny eikx . Wannierovy funkce jsou lokalizovány kolem mřížových bodů, jak je schematicky znázorněno v hořejším obrázku. Lokalizace může být velmi výrazná (exponenciální, pro jednodimenzionální případ: W. Kohn, Phys. Rev. 115, 809 (1959)), viz také Marzari et al., REVIEWS OF MODERN PHYSICS, VOLUME 84, OCTOBER–DECEMBER 2012. Wannierovy funkce ( )  n ja r R jsou vlastními funkcemi vektorového operátoru ˆ R , příslušné k vlastní hodnotě Rj (t.j. k j-tému mřížovému vektoru): ˆ ( ) ( ) .        n j j n jRa r R R a r R (7.4) 4 Vyjádříme-li obecnou vlnovou funkci jako lineární kombinaci stacionárních stavů jednoelektronového Hamiltoniánu bez příměsi, tedy Blochových funkcí, , , 1 ( ) ( ) ( ) ( ) exp( ) ( ) , jl l n l n l l j n jnk Rn k n k r A k r A k ik R a r R N                 (7.5) najdeme výsledek působení operátoru ˆ R na ni ve tvaru   , , 1ˆ ( ) ( ) exp( ) ( ) 1 = ( ) exp( ) ( ) . jl jl n l l j j n j Rn k n l l j n jk Rn k R r A k ik R R a r R N A k i ik R a r R N                          (7.6) V posledním vztahu aproximujeme kvazikontinuum možných hodnot vektoru kl spojitou množinou; v této limitě nekonečného krystalu používáme operátor gradientu tak, že exp( ) exp( )l j j l jk ik R iR ik R      (7.7) pro každý vektor kl. Formuli (7.6) můžeme ještě upravit do následujícího tvaru:   , , , ˆ ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) . l l l l l l n l n lk nk k nk n k n k n lk nk n k R r i A k r i A k r i A k r                                       (7.8) 5 První suma v horním řádku formule (7.8) je nulová; v aproximaci nekonečného krystalu přejde totiž sumace přes k na objemový integrál přes Brillouinovu zónu a ve výsledku jsou rozdíly součinů A v ekvivalentních bodech na opačných stěnách BZ. Vlnovou funkci (7.5) můžeme také vyjádřit jako lineární kombinaci Wannierových funkcí, , ( ) ( ) ( ) ;      j n j n j n R r C R a r R (7.9) koeficienty Cn se označují jako obálkové funkce. S pomocí vztahu (7.5) dostáváme , 1 ( ) ( )exp( ) ( ) , j l n l l j n j n R k r A k ik R a r R N                  (7.10) koeficienty Cn jsou tedy Fourierovou transformací koeficientů An. Použijeme analogii vztahu (7.7) pro sledování změn našich funkcí na vzdálenostech mnohem větších než jsou vzdálenosti nejbližších sousedů v krystalové mříži, exp( ) exp( ) .l j l l jR ik R ik ik R      (7.11) V hledání elektronové struktury krystalu s poruchou, tedy řešení vlnové rovnice (7.2), vyjdeme z elektronové struktury neporušeného krystalu. Vybereme n-tý pás energií, s Blochovými vlastními funkcemi a disperzní závislostí energie 0 ( )nE k  : 0 0 , , ˆ ( ) ( ) ( ) .nn k n k H r E k r     (7.12) S uvážením vztahu (7.11) můžeme operátor energie, působící na obálky Wannierových funkcí příslušných k n-tému pásu, vyjádřit ve tvaru 6  0 0ˆ .w n R H E i   (7.13) Dále je třeba přidat poruchu; jednoduchý popis elektronové struktury krystalu s příměsí vychází z předpokladu, že se potenciál (7.1) mění málo na vzdálenosti mřížkové konstanty. V tomto případě totiž nahradíme polohovou závislost ˆ dV ve vztahu (7.2) závislostí na vektoru R a rovnici pro obálkovou funkci a příslušné vlastní hodnoty energie E dostaneme ve tvaru  0 ( ) ( ) ( ) .n d n nR E i V R C R EC R          (7.14) Abychom ji mohli použít, musíme vzít konkrétní funkční závislost 0 ( )nE k  disperzní relace n-tého pásu energií, do které vložíme vektorový operátor gradientu. Zde zvolíme jednoduchou parabolickou závislost pro izotropní nedegenerovaný pás (typicky kolem minima vodivostního pásu ve středu Brillouinovy zóny, jako např. v GaAs): 2 2 0 * ( ) (0) . 2 n c k E k E m     (7.15) Rovnice (7.14) pro obálky Wannierových funkcí je pak   2 * ( ) ( ) (0) ( ) . 2 d cR V R C R E E C R m               (7.16) Má tvar Schroedingerovy rovnice pro částici s hmotností m*, pohybující se v potenciálu dV s tím, že její energie odečítáme od energie dna vodivostního pásu. Vlnovou funkci dostaneme vynásobením obálkové funkce a Wannierových funkcí podle vztahu (7.9). Tento přístup k řešení daného problému se označuje jako aproximace efektivní hmotnosti. 7 Rovnice (7.16) s centrálně symetrickým potenciálem (7.1) je ekvivalentní kvantovému popisu elektronu v atomu vodíku. Rozdíl je v tom, že musíme počítat s efektivní hmotností elektronu a Coulombovské přitahování ke kladnému iontu příměsi je zeslabeno stíněním elektrony v hostitelském krystalu, které se projevuje dělením permitivitou ve vztahu (7.1). Stacionární stavy jsou diskrétní (vázané) i kontinuální (delokalizované), ve kterých se elektron dostává do delokalizovaných stavů hostitelského krystalu nad dnem vodivostního pásu. Z analogie s atomem vodíku můžeme energii En vázaných stavů napsat jako   4* 0 22 2 22 0 0 1 1 (0) = , 1,2,..., 2 4 n c r e mm R E E n m n n        (7.17) kde n je hlavní kvantové číslo, e je elementární náboj a m0 klidová hmotnost volného elektronu; symbolem R jsme označili Rydbergovu konstantu donorového elektronu. Pro m*=r=1 (izolovaný atom vodíku) je R=13.6 eV, pro m*≈0.1 a r≈10 se tato hodnota zmenší na zhruba 14 meV. Bohrův poloměr donorového stavu je v našem modelu 2 * 0 0 * 2 0 4 ,r m a m e m     (7.18) s obálkovou vlnovou funkcí nejnižšího stavu (1s) * 1 * 3 1 ( ) . ( ) R a sC R e a   (7.19) Bohrův poloměr (7.18) je proti hodnotě pro izolovaný vodíkový atom (0.0529 nm) mnohem větší díky typicky velkým hodnotám relativní permitivity a malým efektivním hmotnostem. Obálky Wannierových funkcí (koeficienty C) jsou tedy typicky významně odlišné od nuly pro velký počet uzlů mříže. Naopak, koeficienty A ze vztahu (7.5) u Blochových funkcí jsou významně odlišné od nuly pouze pro malý počet (diskrétních) hodnot vlnového vektoru. Tuto souvislost můžeme vysvětlit tím, že oba systémy koeficientů jsou navzájem vázány Fourierovou 8 transformací (jsou v tomto smyslu sdružené), viz (7.9) a (7.10). Pro posouzení dopadu exponenciálního poklesu obálky C můžeme využít Fourierovy kosinové transformace       * * * 2 2* 2 * 0 1/ ( ) cos . 1 1/ R a a a A k e kR dR a k k a         (7.20) Pro * 1/k a poklesne hodnota A na jednu polovinu svého maxima (v k = 0) a tato funkce je tím „užší“, čím „širší“ je obálka C. Hořejší vztah (7.20) je speciálním případem obecnějšího principu neurčitosti pro funkci f a její Fourierův obraz F: 1 1 ( ) ( ) , ( ) ( ) ; 2 2 i t i t F e f t dt f t e F d               (7.21) pro dvě reálná čísla T a W, definovaná jako 2 2 2 2 2 21 1 | ( ) | , | ( ) | ,T t f t dt W F d E E           (7.22) kde 2 2 | ( ) | | ( ) | ,E f t dt F d         (7.23) totiž platí nerovnost 1 . 2 TW  (7.24) 9 Tento výsledek znamená, že funkce f a F nemohou být obě malé, zároveň také fakt, že „zužování“ jedné z nich znamená současné „rozšiřování“ druhé. Toto je užitečné zjištění i v našem konkrétním problému donorových stavů; se zvětšováním n klesá vazební energie úměrně 1/n2 , vlnová funkce tedy zaujímá objem úměrný n2 . Vyšší excitované stavy tedy mohou být lépe popisovány hořejším modelem než stav základní. Prakticky velmi důležité jsou donorové stavy v případě anizotropních vodivostních pásů hostitelských krystalů (např. Si, Ge, GaP). Díky krystalové symetrii jsou navíc minima vodivostního pásu degenerovaná a započtení polohové závislosti interakce v bezprostředním okolí donoru vede k tzv. „valley-orbit coupling“. Předchozí aproximaci efektivní hmotnosti je třeba modifikovat. Posoudíme podrobněji případ křemíku, s šesti ekvivalentními minimy vodivostního pásu poblíž okraje Brillouinovy zóny X (směr [100] neboli ). V prvním kroku je třeba modifikovat rovnici (7.16) pro obálkové funkce; ke každému minimu s j = 1,...,6 máme 2 0* 2 ( ) ( ) ( ) ( ) , 2 t l d j c j t l V R R E E k R m m m                       (7.25) kde mt a ml jsou po řadě transverzální a longitudinální efektivní hmotnosti (0.19m0 a 0.92m0 pro Si). Přibližné řešení této rovnice je možné hledat variačně, s vhodnou volbou parametrizované zkušební funkce, která respektuje snížení symetrie z kulové na válcovou. Známé jsou práce Kohna a Luttingera z roku 1955, používající funkci  2 2 2 ( ) , a y z bx x R e       (7.25) kde směr x je zvolen podél longitudinální osy příslušného minima. 10 Schematická pásová struktura přímého polovodiče s donorovými stavy s n=1,2 a 3. Vazebná energie (stavu s n=1) mělkých donorů v několika polovodičích se strukturou ZnS, v meV. V prostředním sloupci je hodnota spočtená ze vztahu (6.17), v pravém jsou experimentální data pro obvyklé donorové příměsi. 11 Spočtené a změřené mělké donorové hladiny v Si. 12 0 200 400 0.0 0.5 1.0 1.5 1s(A1 )->cb ->2p+/- 1s(A1 )->2p0 ->2p+/- 1s(T2 ) 1s(E) ->2p0 1s(T2 ) 15K 25 45 75 TransN7-Sig1TD 200 65 300K 100 WAVENUMBER (cm -1 ) Si:P 7.87  -1 cm -1 5.59x10 16 cm -3 1 ( -1 cm -1 ) 1s(E) Reálná část vodivosti spočtená z transmisního spektra Si:P (5.59E16 cm-3 ) při různých teplotách. 13 Nejnižší vázaný stav akceptoru (v meV) porovnaný s výsledkem výpočtu se sférickou symetrií. 14 Spočtené a změřené mělké akceptorové hladiny v Si.