C8810 Fyzikální praktikum II
Volume-EM: 3D FIB-SEM mikroskopie
Tematické okruhy a návod k provedení úkolů:
Seznamení s mikroskopem Helios Hydra V, vložení vzorků
 součásti mikroskopu, vakuový systém, elektronový a iontový tubus
 držák vzorku, orientace vzorku.
 Vložení vzorku do mikroskopu
Vzorky a příprava
 Vzorek: eukaryotní buňky (např. HeLa), pyramida.
 Vodivost vzorku: vliv nabíjení vzorku na zobrazování
Nastavení a mikroskopu
 nastavení vzorku do eucentrické pozice.
 alignment elektronového tubusu (source tilt, lens centering, focus, stigmace).
 režimy zobravování
 alignment iontového tubusu
Příprava oblasti pro 3D zobrazení
 zobrazování povrchu vzorku (vysoké vs. nízké kV, SE vs. BSE)
 depozice ochranné vrstvy pomocí GIS (Pt/C).
 geometrie experimentu a příprava postranních řezů pro přístup ke vzorku
 odprašování vzorku, iontové leštění
Zobrazování a akvizice
 optimalizace zobrazovacích parametrů: napětí, proud, working distance, kontrast, brightness.
SE, BSE
 Nastavení automatického snímání série řezů
 automatická kontrola a nastavení parametrů při automatickém sběru dat