Vakuové ventily
Dělení podle různých principů Podle funkčnosti
• oddělovací
• napouštěcí
• zavzdušňovací
• omezení čerpací rychlosti Ovládání
• ruční
• pneumatický
• elektromagnetický Oblast použití
• hrubé vakuum
• HV vakuum
• UHV, XHV vakuum
Obr. 6.32. Ventil pro nízké vakuum
s membránovým těsněním (firma Leybold)
Obr. 6.33. Řez ventilu s kuželovým čepem a membránovým těsněním pro ultravysoké vakuum
4 / 28
a)
F6450 6/28
^1760745
TO VESSEL
ROUGHING OUTLET
TO   DIFFUSION PUMP
Fig. 2.29. Poppet valve.
(a) (b)
Fig. 2.28. Angle valves, (a) Machined from bar stock, (b) Cast.
F6450        13 / 28
Monel
(b)
150 closures
Chip formation (w
Fig. 7.63 Closing systems of all-metal valves; (a) with flat silver ring (Bills and Allen, 1955); (b) with aluminum conical ring (Kienel and Lorenz, 1960); (c) with copper poppet (Parker
and Mark, 1961).
F6450        16 / 28
• deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 mbar
• ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů
• jehlové ventily - nedotahovat silou
• zábrusové ventily - dobře namazat
Elektrické průchodky
Vakuum v rozsahu tlaků 1-5000 Pa je velmi špatný elektrický izolant. Průchodky vybíráme podle:
• napětí
• proudu
• frekvence
Obr. 6.47. Elektrické průchodky pro slabé proudy
a) vodič z plášťového nebo platinovaného drátku zataveného ve skle, b) průtav skleněnou perličkou zatavenou do otvoru v kovové stěně
'6450        19 / 28
Obr. 6.48. Silnoproudá průchodka skleněnou trubici
/ — průtav;2 — sklo; 3 — kovářova čepička; 4 — pájka
Obr. 6.49. Silnoproudá průchodka kovovou
stěnou s keramickým izolátorem
1 — přívod; 2 — spoj kovu s keramikou;
3 — keramika; 4 — stěna vakuového
systému
Přenos rotace do vakua
F6450        24 / 28
F6450        25 / 28
VACUUM
ATMOSPHERE
F6450        27 / 28
Ohebné spoje
- připojení primárních vývěv
• kovové vlnovce
• bellows - změna délky při změně tlaku
• flexible metal hose
• tlustostěnné hadice
• hadice s kovovou spirálou
4 □ ►    4 & > 4