Vakuové ventily Dělení podle různých principů Podle funkčnosti • oddělovací • napouštěcí • zavzdušňovací • omezení čerpací rychlosti Ovládání • ruční • pneumatický • elektromagnetický Oblast použití • hrubé vakuum • HV vakuum • UHV, XHV vakuum Vakuová fyzika 2 1/43 Obr. 6.27. Ventil s talířkem přitlačovaným Obr. 6.28. Ventil těsniny vlnovcem šroubem 1 — rukojeť; 2 — těsnění; 3 — těsnicí kroužek; 4 — horní příruba; J - talířek; 6 - dolní příruba; 7 - těsnění talířku 1J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1984 < i ► i ono Vakuová fyzika 2 2/43 2J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1984 Vakuová fyzika 2 3/43 3J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1984 Vakuová fyzika 2 4_ 4A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 < i ► i -OQ.O 5/43 Vakuová fyzika 2 5J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1984 < i ► i ono 6/43 Vakuová fyzika 2 5A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 D ► 4 S ► < Vakuová fyzika 2 Fig. 7.61 Diaphragm valve. E_3 (b) !c) 7A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 ► < = ► -0 0,0 (d) _ ? (e) (f) (g) (h) 8A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 i -OQ.O Vakuová fyzika 2 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 * □ ► < up ► < Vakuová fyzika 2 Monel Al (b) Poppat^M 50 closures Chip formation CC) Fig. 7.63 Closing systems of all-metal valves; (a) with flat silver ring (Bills and Allen, 1955); (b) with aluminum conical ring (Kienel and Lorenz, 1960); (c) with copper poppet (Parker and Mark, 1961). 10 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 11 / 43 Jehlový ventil J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Prah Deskový ventil 7Z2&5Ľ í \ 12 F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Vakuová fyzika 2 13/43 • deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 mbar • ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů • jehlové ventily - nedotahovat silou • zábrusové ventily - dobře namazat Vakuová fyzika 2 14 / 43 Elektrické průchodky Vakuum v rozsahu tlaků 1-5000 Pa je velmi špatný elektrický izolant. Průchodky vybíráme podle: • napětí • proudu • frekvence Vakuová fyzika 2 15 / 43 Obr. 6.47. Elektrické průchodky pro slabé proudy a) vodič z plášťového nebo platinovaného drátku zataveného ve skle, b) průtav skleněnou perličkou zatavenou do otvoru v kovové stěně 13 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 16 / 43 Obr. 6.48. Silnoproudá průchodka skleněnou trubici 1 — průtav;2 — sklo; 3 — kovářova čepička; 4 — pájka Obr. 6.49. Silnoproudá průchodka kovovou stěnou s keramickým izolátorem 1 — přívod; 2 — spoj kovu s keramikou; 3 — keramika; 4 — stěna vakuového systému 14 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 17 / 43 9 15_ 15A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 18 / 43 Přenos rotace do vakua 16 16A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 19 / 43 Vakuová fyzika 2 21 / 43 Vakuová fyzika 2 22 / 43 Load lock 20_ 20firemní materiály firmy Caburn MDC Vakuová fyzika 2 23 / 43 Rozebíratelné spoje • ASA • ISO-KF, (NW) • ISO-K, ISO-F . CF • Wire seal flanges • Helicoflex Vakuová fyzika 2 24 / 43 ASA firemní materiály firmy Nor-Cal Vakuová fyzika 2 25 / 43 ISO-KF 22_ 22firemní materiály firmy Pfeiffer Vakuová fyzika 2 26 / 43 Chain Clamp- 23 firemní materiály firmy Nor-Cal Vakuová fyzika 2 27 / 43 ISO-K, ISO-F firemní materiály firmy Pfeiffer Vakuová fyzika 2 28 / 43 mnf^materiály firmy Pfeiffer A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 30 / 43 Wire seal flanges firemní materiály firmy IMor-Cal Vakuová fyzika 2 31 / 43 F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) 32 / 43 Vakuová fyzika 2 tesnení min. tep [ °C] max. tep. [ °C] elastomer FKM -15 150 NBR -25 120 CR -5 120 EPDM -50 130 silikon -55 200 kov Cu -196 200 Cu + Ag -196 450 Al -270 150 In -196 60 Vakuová fyzika 2 33 / 43 Ohebné spoje - připojení primárních vývěv • kovové vlnovce • bellows - změna délky při změně tlaku • flexible metal hose • tlustostěnné hadice • hadice s kovovou spirálou Vakuová fyzika 2 Další prvky • tlakové spínače • 2D a 3D posuvy • ohřev a rotace vzorků • systémy pro povlaková ní • plazmové okénko Vakuová fyzika 2 Měrka pro XHV vakuum Bent Belt-Beam - ionizační manometr • 3BG-03 • citlivost 5 ~ 8 x 1CT2 Pa_1 • min. tlak 5 x 1CT12 Pa pro porovnaní ionizační manometr z vak. praktika PBR 260 • rozsah měření 5 x 1CT10 - 1000 hPa 4 □ ► 4 (5? ► 4 Vakuová fyzika 2 Casimirův jev Casimi plates Vacuum fluctuations 29 3 http://en. wikipedia.org/wiki/ Vakuová fyzika 2 Plazmové okno PLASMA WINDOW Hie stabilised plug of plasma seals the vacuum chamber to air but allows the electron beam to pass through 30_ 30 http://www.newscientist.com Vakuová fyzika 2 38 / 43 Vodní pára ve vakuových systémech Time (s) Outgassing measurements for different H20 exposures during venting of a 304 steel chamber of inner surface area 0.4747 m\ o Ambient air exposed, 7 S ml Fig. 4.3 stainless steel < absorbed: A 600 ml exposed, 16.8 ml absorbed; + 400 ml exposed, 9.2 ml absorbed; x 200 ml exposed, 7.2 ml absorbed; 0 100 ml exposed, 3.6 ml absorbed; * 10 ml exposed, 2 J ml absorbed; ■ N; gas with