Čerpací systémy • 1. Měření vodivosti vakuových spojů - rotační olejová vývěva - Lávat, VRO-05-21, 5 m3^1 • 2. Kalibrace manometru - membránová + turbomolekulární vývěva - Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2 • 3. Graduace Penningova manometru - membránová + turbomolekulární vývěva - Pfeiffer, TSH 071 E, 60 l/s pro N2 • 4. Měření parciálních tlaků plynů - membránová + turbomolekulární vývěva - Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2 • 5. Měření čerpací rychlosti metodou konstantního tlaku - rotační olejová vývěva - Balzers, DUO 5.6, 5 m3h_1 při 133 Pa • 6. Naparování tenkých kovových vrstev - scroll + turbomolekulární výveva - Oerlikon, Scrollvac SC30D; Pfeiffer- HiPace 700, 685 l/s • 7. Kalibrace ionizačního manometru se žhavenou katodou - membránová + turbomolekulární vývěva - Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2 • 8. Čerpací efekt molekulového síta - zeolitová a rotační olejová vývěva - Lávat, VRO-05-21, 5 m3^1 • 9. Měření čerpací rychlosti turbomolekulární vývěvy - membránová + turbomolekulární vývěva - Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2 • 10. Seznámení s iontovou vývěvou - iontová vývěva, GammaVacuum TiTanl0S-CV, 10 l/s pro N2 Praktikum z vakuové fyziky - 1 -0 0,0 2/7 Rotační olejové vývevy vyztužená hadice pro připojení pořadí fází - směr rotace zahřátí na pracovní teplotu zavzdušnění po vypnutí údržba - výměna oleje Praktikum z vakuové fyziky 3 / 7 Turbomolekularní vyvěvy DCU400 TC 400 =>■ HiPaceľOO, čerpací rychlost 685 l/s pro IM2 DCU => TC600 => TMH 071P, čerpací rychlost 60 l/s pro DCU => TC110 HiPace80, čerpací rychlost 67 l/s pro HiCube 80 Eco DCU TC110 - elektronika, sběrnice RS485 HiPace80 - 67 l/s pro N2, příruba ISO-K 63/CF 63 membránová vývěva - MVP 015-2, čerpací rychlost 0,5 m3/h údržba - výměna olejové patrony Praktikum z vakuové fyziky 5 / 7 Ovládací jednotka DCU + TC110 LCD display a membránová klávesnice sběrnice RS485 možnost připojení aktivního manometru řada nastavitelných parametrů • 002 - Stanby • 023 - MotorPump • 308 - SetRotSpd - maximální frekvence otáček • 309 - ActualSpd - aktuální otáčky • 310 - DrvCurrent • 326, 330, 342, 346 - teploty • 340 - Pressure - měření tlaku • 700 - RvTimeSval - startovací čas • 717 - StdySval - nastavení rychlosti pro Stanby • 738 - Gaugetype mice RS232 - 1962; max. délka kabelu až 300 m RS485 - 1983; max. délka kabelu až 1200 m USB - 1995; max. délka kabelu 5 m Ethernet - 1972; dnes konektor RJ45 - kroucená dvoulinka, max. délka 100 m I2C Profibus DeviceNet bezdrátové připojení - WiFi, Bluetooth, rf,... □ <3 Praktikum z vakuové fyziky - 1