Vakuové ventily Dělení podle různých principů Podle funkčnosti • oddělovací • napouštěcí • zavzdušňovací • omezení čerpací rychlosti Ovládání • ruční • pneumatický • elektromagnetický Oblast použití • hrubé vakuum • HV vakuum • UHV, XHV vakuum Obr. 6.27. Ventil s talířkem přitlačovaným Obr. 6.28. Ventil těsněný vlnovcem šroubem 1 — rukojeť; 2 — těsnění; 3 — těsnicí kroužek; 4 — horní příruba; 5 — talířek; 6 — dolní příruba; 7 — těsnění talířku J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 2/33 Obr. 6,32. Ventil pro nízké vakuum s membránovým těsněním (firma Leybold) Obr. 6.33. Řez ventilu s kuželovým čepem a membránovým těsněním pro ultravysoké vakuum J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 □ Vakuová fyzika 2 3/33 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 4/33 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 5/33 Stainless steel Copper Shim \ Knife rnanifold edge Driving shaft Guide Stainless steel bel lows Copper gaskf Shim Fig. 7.65 Ultra-high vacuum valve. After Baker (1962). A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 < □ ► < Ö1 ► < = > 4 -1 ► q, o Vakuová fyzika 2 6/33 99438889 Monel (a) (b) Seot "50 closures Seat ^^^^00 closures Seat Chip formation (C) Fig. 7.63 Closing systems of all-metal valves; (a) with flat silver ring (Bills and Allen, 1955); (b) with aluminum conical ring (Kienel and Lorenz, 1960); (c) with copper poppet (Parker and Mark, 1961). A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Jehlový ventil 60 40 20 0 8 10 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 □ i3 Vakuová fyzika 2 - -1 -o q,o EVN-116 " j 1 ■_i_i_i_' ' ' ■ - 10-« 10 5 10 * 10 3 10* 10 10 100 11100 Gas flow Imbar l.sl firemní mat. Pfeiffer Vakuová fyzika 2 9/33 UDV-046 r-*>- f--- 4 DN 16 CF* UDV 046, All-metal gas dosing valve firemní mat. Pfeiffer min. 1 x 10 9 hPal/s Vakuová fyzika 2 10 / 33 Deskový ventil F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Vakuová fyzika 2 11 / 33 deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 hPa ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů jehlové ventily - nedotahovat silou zábrusové ventily - dobře namazat □ <3 = Vakuová fyzika 2 12 / 33 Elektrické průchodky Vakuum v rozsahu tlaků 1 - 5000 Pa je velmi špatný elektrický izolant. Průchodky vybíráme podle: • napětí proudu frekvence Vakuová fyzika 2 13 / 33 b) J 9 ô Obr. 6,47. Elektrické průchodky pro slabé proudy a) vodič z plášťového nebo platinovaného drátku zataveného ve skle, b) prôtav sklenenou perličkou zatavenou do otvoru v kovové stčně J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 14 / 33 Obr. 6.48. Silnoproudá průchodka skleněnou trubicí 1 — průtav;2 — sklo; 3 — kovářova čepička; 4 — pájka Obr. 6.49. Silnoproudá průchodka kovovou stěnou s keramickým izolátorem 1 — přívod; 2 — spoj kovu s keramikou; 3 — keramika; 4 — stěna vakuového systému J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 15 / 33 Přenos rotace do vakua A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 □ o Vakuová fyzika 2 16 / 33 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 17 / 33 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 18 / 33 Rotace - ferro kapaliny F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Vakuová fyzika 2 19 / 33 Load lock Rozebíratelné spoje ASA ISO-KF, (NW) ISO-K, ISO-F CF Wire seal flanges Helicoflex Vakuová fyzika 2 21 / 33 ASA Rotatable ASA Flange Receiver Non rotatable ASA Flange with O-i'ing Groove firemní materiály firmy Nor-Cal Vakuová fyzika 2 22 / 33 ISO-KF firemní materiály firmy Pfeiffer Vakuová fyzika 2 23 / 33 Chain Clamp- ^B^^^^p ■ ■ .- :;f, i. w, fl^H mjju^, nrrr^-» l ■ ■ ■ r? ,-1. ggf 1, ■ J.. ■ J A ^Aluminum Knife Edge Seal firemní materiály firmy Nor-Cal □ g = Vakuová fyzika 2 ISO-K, ISO-F CF Vakuová fyzika 2 26 / 33 ; ^0-3-0-4 j 1-6 \\V\\v 9- Fig. 7.39 The Conflat seal CVarian). After Wheeler and Carlson (1962). A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 27 / 33 Wire seal flanges firemní materiály firmy Nor-Cal Vakuová fyzika 2 28 / 33 Fig. 17. 10 Metal gasket seals: (a) ConFlat type knife edge seal; (b) Helicoflex Delta seal. F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Vakuova fyzika 2 29 / 33 tesnení min. tep [ °C] max. tep. [ °C\ elastomer FKM -15 150 NBR -25 120 CR -5 120 EPDM -50 130 silikon -55 200 kov Cu -196 200 Cu + Ag -196 450 Al -196 150 In -196 60 □ SP - Ohebné spoje připojení primárních vývěv kovové vlnovce • bellows - změna délky při změně tlaku • flexible metal hose • tlustostěnné hadice • hadice s kovovou spirálou Další prvky tlakové spínače 2D a 3D posuvy ohřev a rotace vzorků systémy pro povlaková ní Vakuová fyzika 2 32 / 33 Typická křivka čerpání vakuové komory bez vypékání Volume Time (s) Delchar: Vacuum Physics and Techniques, Chapman Hall, \§93 Vakuová fyzika 2 33 / 33