Vakuové ventily
Dělení podle různých principů Podle funkčnosti
• oddělovací
• napouštěcí
• zavzdušňovací
• omezení čerpací rychlosti Ovládání
• ruční
• pneumatický
• elektromagnetický Oblast použití
• hrubé vakuum
• HV vakuum
• UHV, XHV vakuum
Praktikum z vakuové fyziky
2/14
Kulový ventil
A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990
Praktikum z vakuové fyziky
3 / 14
Jehlový ventil
J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981
Praktikum z vakuové fyziky
4/14
Deskový ventil
F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003)
EVN-116
firemní mat. Pfeiffer
< □ ►
Praktikum z vakuové fyziky
UDV-046
	
j-i--	
l-	I-a
I 1 jd	
DN 40 CF-
DN 16CP-R
•0 r*
UDV 046, All-metal gas dosing valve
firemní mat. Pfeiffer min. 1 x 10 9 hPal/s
Praktikum z vakuové fyziky
7 / 14
deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 hPa ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů jehlové ventily - nedotahovat silou zábrusové ventily - dobře namazat
Praktikum z vakuové fyziky
Rozebíratelné spoje
zábrusy - zejména skleněné aparatury ISO-KF, (NW) ISO-K, ISO-F CF
Praktikum z vakuové fyziky
9/14
ISO-KF
firemní materiály firmy Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
10 / 14
ISO-K, ISO-F
CF
Praktikum z vakuové fyziky
12 / 14
firemní materiály firmy Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
13 / 14
tesnení	min. tep [ °C]	max. tep. [ °C\
elastomer		
FKM	-15	150
NBR	-25	120
CR	-5	120
EPDM	-50	130
silikon	-55	200
kov		
Cu	-196	200
Cu + Ag	-196	450
Al	-196	150
In	-196	60
Praktikum z vakuové fyziky
14 / 14