Čerpací rychlost vývěvy - v tabulce je průtok vzduchu měřený prutokoměrem a tlak ve vakuové aparatuře po ustálení měřený membránovým kapacitním manometrem. Atmosferický tlak byl 99030 Pa
Tabulka 1: Čerpací rychlost vývěvy
průtok [cm3min x]	tlak [Pa]
4,2	28,2
7,2	37,3
10,7	46,2
14,4	54,4
17,7	61,1
21,5	68,2
24,9	74,0
28,4	79,8
31,6	84,9
34,9	90,1
Objem aparatury - v souborech VAK5-X.dat jsou uloženy závislosti tlaku na čase po uzavření ventilu mezi komorou a vývěvou pro různé průtoky vzduchu do aparatury. Tlak je uložen, jako napětí z aktivního kapacitního manometru. Převod na tlak je: p [Pa] = U [V] * 133,322
• VAK5-l.dat - průtok vzduchu 7,2 [cm3min_1]
• VAK5-2.dat - průtok vzduchu 14,3 [cm3min_1]
• VAK5-3.dat - průtok vzduchu 21,3 [cm3min_1]
• VAK5-4.dat - průtok vzduchu 28,3 [cm3min_1]
• VAK5-5.dat - průtok vzduchu 35,1 [cm3min_1]
1