pod vzorkem -  pod stínítkem - např. GIF
Energiové filtry (v TEM, STEM)
Filtrovaný obraz – použití v obrazovém i difrakčním módu
EELS → spektrum a/nebo filtrovaný obraz
Spektrum EELS a vyhodnocení tloušťky vzorku
Dominantní píky ve spektru:
• pík u E=0 (zero loss peak)
• plasmonový pík (zde u 15eV)
Intenzita plasmonového píku
roste s tloušťkou vzorku a platí
 … střední volná dráha
0 0
ln ln lT II
t
I I
 = 
Spektrum EELS a vyhodnocení obsahu prvků
pozadí se určuje z úseku
před hranou prvku:
fituje se nejčastěji jako
A(E)−r.
(U tlustších vzorků se nejdříve provádí dekonvoluce s plasmonovým píkem.)
Kromě samotného počtu pulzů lze porovnávat i tvar spektra za
hranou, který vypovídá o povaze vazby atomu (o jeho okolí):
EXELFS … Extended X-ray edge Electron Loss Fine Structure
ELNES … Electron Loss Near Edge Structure
„Fingerprints”: porovnávání naměřených spekter EELS s vypočtenými nebo
změřenými na jednodušších sloučeninách nebo na standardech.
FeO vs. Fe3O4
EELS a obrazy tvořené elektrony z úzkých
intervalů energie (E−E, E−E+dE)
Elastické interakce:
Účinný průřez elastické interakce s jádrem atomu stíněným okolními elektrony
je
E je energie v keV, Z je atomové číslo, (Z,E) popisuje stínění.
Střední volná dráha elektronu je
A je atomová hmotnost (g/mol),  je hustota.
Statistická pravděpodobnost dráhy s mezi dvěma srážkami je
Rozdělení úhlových odchylek je dáno diferenciálním účinným průřezem
22
21 2
2
4 511
5.21 10 cm /atom
( 1) 1024
E
Z E
E E


 
− + 
=   
+ + 
A E
A
N


=
( ) exp( )p s s = −
22
21
2 2 2
2
1 511
5.21 10
(sin ) 1024
d Z E
d E E



−

+  = =   
 + + 
Kromě uvedeného tzv. „single scattering“ modelu elastické interakce existuje
i méně přesný ale rychlejší tzv. „plural scattering“ model, který statisticky
průměruje více elastických interakcí v jednom kroku.
Inelastické interakce:
Zahrnují širokou škálu procesů. Započítávají
se v simulaci jako plynulé snižování energie
E úměrné délce uražené trajektorie (s):
J … střední ionizační potenciál
4 1.166
2 ln
( )
A
dE Z E
e N
ds AE J
J J Z


 
= −  
 
=
U slitin/sloučenin se počítá s váženým průměrem Z.
Srovnání citlivosti WDX a EDX:
WDX: rozlišení jednotky eV (EDX 140 eV)
Generace Rentgenova záření při interakci el. svazku s látkou