Základy technologie výroby polovodičů		
"PřF MU, Kotlářská 2, Brno, učebna Fs1 12:00-14:50"		
		
Datum	Přednášející	Téma
18/9/23	Pánek	Přehled technologie výroby Si desek
25/9/23	Šik	Přehled technologie výroby SiC krystalů a desek
2/10/23	"Špetík, R."	Přehled postupu návrhu a výroby integrovaných obvodů
9/10/23	Válek	Růst monokrystalů křemíku
16/10/23	Pánek	Čištění povrchu křemíku a karbidu křemíku
23/10/23	Plachký	Analýza povrchů ve výrobě polovodičů
30/10/23	Kocián	Technologie výroby struktur Silicon-On-Insulator
6/11/23	"Špetík, Z."	Oxidace Si desek a difuze příměsí
13/11/23	"Lysáček / Špetík, Z."	Chemické depozice vrstev z plynné faze – základní principy
20/11/23	"Lysáček / Špetík, Z."	Technologie chemických depozic vrstev z plynné faze
27/11/23	"Špetík, R."	"Fotolitografie vrstev, leptání SiO2"
4/12/23	"Špetík, Z."	"Plazmochemické leptání vrstev, depozice kovových vrstev"
11/12/23	Pánek	Aplikace statistických metod v průmyslu
18/12/23	Pánek	kolokvium