Vlny v plazmatu s magnetickým polem: Pro řešení Maxwellových rovnic potřebujeme znát vztah mezi intenzitou elektrického pole a hustotou proudu, který řešíme ve vnějším magnetickém poli Bq působícím ve směru zq: neAE — mvj — e (j x Bo 1 ne mv = -eE - TO — = dŕ -ne2Ě - Ě = TO --2 \V nez Ě = V + \0j J EqUJ pe J x z<) Maxwellovy rovnice potom vedou na V x B Ě -\ujB -\ojB V + 10j -C VxB - c2^ V x B) x Žq Pro vlny s k \\ Bq: ní UJ, pe i + íiki w 2 oj pe oj oj r Typy antén: m = 0 Nagoya Výhody: • vysoká koncentrace elektronů (1017-1020 m-3) • vysoká efektivita • relativě nízké Bq (~ 5mT) • bez vnitřních elektrod • možnost nezávislého řízení předpětí na vzorku Využití: • leptání a depozice • iontové pohony