Ústav fyziky kondenzovaných látek
Ústav fyzikální elektroniky
Plazmové nanotechnologie a bioaplikace
Depozice tenkých vrstev a nanostruktur
Diagnostika a modelování plazmatu
Didaktika fyziky
Optika tenkých vrstev a povrchů pevných látek
Aplikovaná plazmochemie
Ústav teoretické fyziky a astrofyziky