F3390 Výroba mikro a nanostruktur

Přírodovědecká fakulta
podzim 2021
Rozsah
2/0/0. 2 kr. (plus ukončení). Ukončení: zk.
Vyučující
Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D. (přednášející)
doc. RNDr. Jozef Ráheľ, PhD. (přednášející)
Garance
doc. RNDr. Jozef Ráheľ, PhD.
Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Rozvrh
Čt 16:00–17:50 F3,03015
Předpoklady
! F3390E Micro- nano- struct. prepar.
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je nabízen i studentům mimo mateřské obory.
Jiné omezení: Není možné získat zároveň kredity za předmět F3390 a jeho anglickou verzi F3390E.
Mateřské obory/plány
Cíle předmětu
Přednášky seznámí studenty se základními metodami a principy přípravy mikro a nano struktur.
Výstupy z učení
Student bude po absolvování předmětu schopen:
- kvalifikovaně popsat princip základních metod přípravy vrstev mokrými metodami;
- vysvětlit principy základních metod přípravy vrstev suchými metodami, zejména CVD, ALD a PECVD;
- vysvětlit principy a nové směry v oblasti přenosu obrazu optickou, elektronovou a atomární sondovou litografií;
- charakterizovat různé možnosti příprav 1D rozměrných struktur - nanočástic;
- Podrobně popsat principy syntézy a charakterizace všech známých uhlíkových nanomateriálů.
Osnova
  • Chemické a fyzikální metody přípravy nanočástic • Metody separace a materálová analýza nanočástic • Plazmová depozice a plazmové leptání • Elektrozvlákňování (electrospinning) a nanovlákna • Uhlíkové nanostruktury (nanotrubky, grafén, fulerény) • Maskovací (template-based) metody syntezy • Příprava mikro a nanomechanických struktur • Metody nanotisku (nanoimprinting)
Literatura
  • Springer handbook of nanotechnology. Edited by Bharat Bhushan. 2nd/3rd ed. Berlin: Springer, 2010, 1 DVD-ROM. ISBN 9783642025242. info
Výukové metody
přednášky
Metody hodnocení
ústní zkouška
Další komentáře
Studijní materiály
Předmět je vyučován každoročně.
Nachází se v prerekvizitách jiných předmětů
Předmět je zařazen také v obdobích jaro 2012 - akreditace, jaro 2014, jaro 2015, jaro 2016, jaro 2017, jaro 2018, jaro 2019, jaro 2020, podzim 2020, podzim 2022, podzim 2023, podzim 2024.