NEČAS, David and Petr KLAPETEK. One-dimensional autocorrelation and power spectrum density functions of irregular regions. Ultramicroscopy. Amsterdam: Elsevier Science, 2013, vol. 124, Jan, p. 13-19. ISSN 0304-3991. doi:10.1016/j.ultramic.2012.08.002.
Other formats:   BibTeX LaTeX RIS
Basic information
Original name One-dimensional autocorrelation and power spectrum density functions of irregular regions
Name in Czech Jednorozměrná autokorelační funkce a spektrální hustota nepravidelných oblastí
Authors NEČAS, David (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution) and Petr KLAPETEK (203 Czech Republic).
Edition Ultramicroscopy, Amsterdam, Elsevier Science, 2013, 0304-3991.
Other information
Original language English
Type of outcome Article in a journal
Field of Study 10302 Condensed matter physics
Country of publisher Netherlands
Confidentiality degree is not subject to a state or trade secret
WWW URL
Impact factor Impact factor: 2.745
RIV identification code RIV/00216224:14740/13:00065787
Organization unit Central European Institute of Technology
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2012.08.002
UT WoS 000311823700003
Keywords (in Czech) Mikroskopie skenující sondou; mikroskopie atomové síly; drsnost; analýza frekvencí
Keywords in English Scanning probe microscopy; Atomic force microscopy; Roughness; Frequency analysis
Tags podil, rivok
Tags International impact, Reviewed
Changed by Changed by: Martina Prášilová, učo 342282. Changed: 9/4/2015 11:46.
Abstract
Scanning probe microscopy (SPM) can be effectively used for evaluation of nanoscale roughness of surfaces obtained by different technological processes. Spectral properties of surface roughness can be evaluated using algorithms based on Fast Fourier Transform (FFT). For data that are not rectangular, this approach, however fails. In this paper we describe a modification of SPM data evaluation algorithms enabling to use FFT based approach even for irregular and non-continuous data. This opens novel possibilities in analysis of local surface roughness in many fields, e.g. on nanoparticles, semiconductor structures or any other nanostructured samples prepared using nanotechnology methods. Together with theoretical description of proposed method we present benchmarks for its performance and typical results of its application on different samples.
Abstract (in Czech)
Mikroskopii skenující sondou (SPM) lze efektivně využít pro vyhodnocení nanodrsnosti povrchů získaných různými technologickými procesy. Spektrální vlastnosti drsnosti povrchu lze hodnotit pomocí algoritmů založených na rychlé Fourierově transformaci (FFT). Pro data, které nejsou obdélníková, tento postup však selhává. V tomto příspěvku se zabýváme úpravou algoritmů vyhodnocení SPM dat, které umožňují použít na FFT založený přístup i pro nepravidelná a nesouvislá data. To otevírá nové možnosti při analýze lokální drsnosti povrchu v mnoha oblastech, např. na nanočásticích, polovodičové struktury nebo jakékoli jiné nanostrukturované vzorky připravené za použití nanotechnologických metod. Spolu s teoretickým popisem navržené metody uvádíme kritéria pro její výkon a typické výsledky jejího použití na různých vzorcích.
Links
ED1.1.00/02.0068, research and development projectName: CEITEC - central european institute of technology
KAN311610701, research and development projectName: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Investor: Academy of Sciences of the Czech Republic
PrintDisplayed: 30/11/2022 01:24