Informační systém MU
NEČAS, David a Petr KLAPETEK. One-dimensional autocorrelation and power spectrum density functions of irregular regions. Ultramicroscopy. Amsterdam: Elsevier Science, 2013, roč. 124, Jan, s. 13-19. ISSN 0304-3991. doi:10.1016/j.ultramic.2012.08.002.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název One-dimensional autocorrelation and power spectrum density functions of irregular regions
Název česky Jednorozměrná autokorelační funkce a spektrální hustota nepravidelných oblastí
Autoři NEČAS, David (203 Česká republika, garant, domácí) a Petr KLAPETEK (203 Česká republika).
Vydání Ultramicroscopy, Amsterdam, Elsevier Science, 2013, 0304-3991.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Nizozemsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Impakt faktor Impact factor: 2.745
Kód RIV RIV/00216224:14740/13:00065787
Organizační jednotka Středoevropský technologický institut
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2012.08.002
UT WoS 000311823700003
Klíčová slova česky Mikroskopie skenující sondou; mikroskopie atomové síly; drsnost; analýza frekvencí
Klíčová slova anglicky Scanning probe microscopy; Atomic force microscopy; Roughness; Frequency analysis
Štítky podil, rivok
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnila: Martina Prášilová, učo 342282. Změněno: 9. 4. 2015 11:46.
Anotace
Scanning probe microscopy (SPM) can be effectively used for evaluation of nanoscale roughness of surfaces obtained by different technological processes. Spectral properties of surface roughness can be evaluated using algorithms based on Fast Fourier Transform (FFT). For data that are not rectangular, this approach, however fails. In this paper we describe a modification of SPM data evaluation algorithms enabling to use FFT based approach even for irregular and non-continuous data. This opens novel possibilities in analysis of local surface roughness in many fields, e.g. on nanoparticles, semiconductor structures or any other nanostructured samples prepared using nanotechnology methods. Together with theoretical description of proposed method we present benchmarks for its performance and typical results of its application on different samples.
Anotace česky
Mikroskopii skenující sondou (SPM) lze efektivně využít pro vyhodnocení nanodrsnosti povrchů získaných různými technologickými procesy. Spektrální vlastnosti drsnosti povrchu lze hodnotit pomocí algoritmů založených na rychlé Fourierově transformaci (FFT). Pro data, které nejsou obdélníková, tento postup však selhává. V tomto příspěvku se zabýváme úpravou algoritmů vyhodnocení SPM dat, které umožňují použít na FFT založený přístup i pro nepravidelná a nesouvislá data. To otevírá nové možnosti při analýze lokální drsnosti povrchu v mnoha oblastech, např. na nanočásticích, polovodičové struktury nebo jakékoli jiné nanostrukturované vzorky připravené za použití nanotechnologických metod. Spolu s teoretickým popisem navržené metody uvádíme kritéria pro její výkon a typické výsledky jejího použití na různých vzorcích.
Návaznosti
ED1.1.00/02.0068, projekt VaVNázev: CEITEC - central european institute of technology
KAN311610701, projekt VaVNázev: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Investor: Akademie věd ČR, Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Zobrazeno: 29. 11. 2022 19:38