PROPERTIES OF MODIFIED AMORPHOUS CARBON THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD
STOICA, Adrian, Valentin MOCANU, Jan ČUPERA, Lukáš KELAR and Vilma BURŠÍKOVÁ. PROPERTIES OF MODIFIED AMORPHOUS CARBON THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD. Chem. listy. Praha, 2012, 106/2012, No 106, p. S1499-S1503, 5 pp. ISSN 0009-2770. |
Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Basic information | |
---|---|
Original name | PROPERTIES OF MODIFIED AMORPHOUS CARBON THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD |
Name in Czech | Vlastnosti modifikovaných amorfních uhlíkových tenkých vrstev připravených metodou PECVD |
Authors | STOICA, Adrian (642 Romania, belonging to the institution), Valentin MOCANU (642 Romania, belonging to the institution), Jan ČUPERA (203 Czech Republic, belonging to the institution), Lukáš KELAR (203 Czech Republic, belonging to the institution) and Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution). |
Edition | Chem. listy, Praha, 2012, 0009-2770. |
Other information | |
---|---|
Original language | English |
Type of outcome | Article in a journal |
Field of Study | 10305 Fluids and plasma physics |
Country of publisher | Czech Republic |
Confidentiality degree | is not subject to a state or trade secret |
WWW | URL |
Impact factor | Impact factor: 0.453 |
RIV identification code | RIV/00216224:14310/12:00057155 |
Organization unit | Faculty of Science |
UT WoS | 000324813100019 |
Keywords (in Czech) | RF-PECVD; amorfní uhlík; ochranné vrstvy; DLC; |
Keywords in English | RF-PECVD; amorphous carbon; protective coatings; DLC; |
Tags | AKR, rivok |
Tags | International impact, Reviewed |
Changed by | Changed by: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D., učo 2418. Changed: 3/4/2013 17:31. |
Abstract |
---|
The aim of this work was to prepare a set of DLC films from different mixtures of precursor gases (methane, hydrogen, deuterium, nitrogen and/or HMDSO) using RFPECVD on substrates such as crystalline silicon, glass, and steel. The prepared films were characterized by several diagnostic tools and the properties of hydrogenated amorphous carbon films and the modified diamond-like carbon thin films with different admixtures (N, Si, O, D) were compared. Mechanical tests were performed on the obtained films mainly using depth sensing indentation method. We focused our attention on the following coating properties: hardness, elastic modulus, fracture toughness, film-substrate adhesion. Additionally, the effect of the internal stress on the indentation response of the filmsubstrate systems was studied. The tribological properties of the films were also investigated. The surface free energy of the films was performed by contact angle measuring technique. |
Abstract (in Czech) |
---|
Cílem této práce bylo připravit sadu DLC vrstev z různých směsí prekurzorových plynů (metan, vodík, deuterium, dusíku a / nebo HMDSO) pomocí RFPECVD na substráty, jako jsou krystalický křemík, sklo a ocel. Připravené vrstvy byly charakterizovány pomocí několika diagnostických nástrojů. Vlastnosti čistých a modifikovaných amorfních uhlíkových vrstev s různými přísadami (N, Si, O, D) byly srovnávány. Mechanické zkoušky byly provedeny především pomocí hinstrumentované indentační techniky. Svou pozornost jsme zaměřili na následující vlastnosti: tvrdost, modul pružnosti, lomová houževnatost, přilnavost vrstvy k substrátu. Navíc jsme studovali vliv vnitřního pnutí na vtiskovou odezvu systému vrstva-substrát. Tribologické vlastnosti vrstev byly také zkoumány. Povrchová volná energie vrstev byla určena měřením kontaktního úhlu. |
Links | |
---|---|
ED2.1.00/03.0086, research and development project | Name: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy |
FT-TA5/114, research and development project | Name: Vývoj technologie vytváření PECVD vrstev pro výrobu automobilové světelné techniky |
Investor: Ministry of Industry and Trade of the CR, Development of technology of PECVD films formation for automotive lighting equipment | |
GA202/07/1669, research and development project | Name: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
Investor: Czech Science Foundation, Deposition of thermomehanically stable nanostructured diamond-like thin films in dual frequency capacitive discharges | |
KAN311610701, research and development project | Name: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie |
Investor: Academy of Sciences of the Czech Republic |
PrintDisplayed: 31/8/2024 06:32