SCHMIDTOVÁ, Tereza, Pavel SOUČEK, Vít KUDRLE a Petr VAŠINA. Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply. Surface & coatings technology, Elsevier, 2013, roč. 2013, č. 232, s. 283-289. ISSN 0257-8972. doi:10.1016/j.surfcoat.2013.05.014.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply
Autoři SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí), Vít KUDRLE (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí).
Vydání Surface & coatings technology, Elsevier, 2013, 0257-8972.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Švýcarsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 2.199
Kód RIV RIV/00216224:14310/13:00066489
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014
UT WoS 000327691300037
Klíčová slova anglicky Magnetron sputtering; Diagnostics of deposition process; Nanocomposites; Metal – carbon coatings
Štítky AKR, rivok
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085. Změněno: 8. 4. 2014 13:53.
Anotace
Hybrid PVD – PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon (PECVD). This process can be used for preparation of metal carbon nanocomposites (MeC/C(:H)) or DLC layers doped with metal (DLC:Me). The aim of this paper is to describe and understand elementary processes in fl uencing the hybrid PVD – PECVD process. A non-monotonous dependence of cathode voltage and current, total pressure and spectral line intensities on acetylene supply fl ow is reported. Explanation of non- monotonous evolutions through the analysis of the target state correlating the process characteristics with properties of coatings prepared by this process is proposed.
Návaznosti
ED2.1.00/03.0086, projekt VaVNázev: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaVNázev: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Standardní projekty
GD104/09/H080, projekt VaVNázev: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Doktorské granty
Typ Název Vložil/a Vloženo Práva
1-s2.0-S0257897213004428-main.pdf   Verze souboru Kudrle, V. 11. 7. 2015

Vlastnosti

Adresa v ISu
https://is.muni.cz/auth/publication/1129169/1-s2.0-S0257897213004428-main.pdf
Adresa ze světa
https://is.muni.cz/publication/1129169/1-s2.0-S0257897213004428-main.pdf
Adresa do Správce
https://is.muni.cz/auth/publication/1129169/1-s2.0-S0257897213004428-main.pdf?info
Ze světa do Správce
https://is.muni.cz/publication/1129169/1-s2.0-S0257897213004428-main.pdf?info
Vloženo
So 11. 7. 2015 17:35, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Práva

Právo číst
  • kdokoliv v Internetu
Právo vkládat
 
Právo spravovat
  • osoba Mgr. Tereza Schmidtová, učo 151253
  • osoba doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085
  • osoba prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782
  • osoba prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D., učo 2560
Atributy
 

1-s2.0-S0257897213004428-main.pdf

Aplikace
Otevřít soubor.
Stáhnout soubor.
Adresa v ISu
https://is.muni.cz/auth/publication/1129169/1-s2.0-S0257897213004428-main.pdf
Adresa ze světa
http://is.muni.cz/publication/1129169/1-s2.0-S0257897213004428-main.pdf
Typ souboru
PDF (application/pdf)
Velikost
885,3 KB
Hash md5
9ab4751ff11e12542ff62be71bd397ee
Vloženo
So 11. 7. 2015 17:35

1-s2.0-S0257897213004428-main.txt

Aplikace
Otevřít soubor.
Stáhnout soubor.
Adresa v ISu
https://is.muni.cz/auth/publication/1129169/1-s2.0-S0257897213004428-main.txt
Adresa ze světa
http://is.muni.cz/publication/1129169/1-s2.0-S0257897213004428-main.txt
Typ souboru
holý text (text/plain)
Velikost
33,3 KB
Hash md5
93352d25b8c2baba796dba2c07e1b4ec
Vloženo
So 11. 7. 2015 17:39
Vytisknout
Nahlásit neoprávněně vložený soubor Zobrazeno: 25. 2. 2020 07:06