Informační systém MU
SCHMIDTOVÁ, Tereza, Pavel SOUČEK, Vít KUDRLE a Petr VAŠINA. Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply. Surface & coatings technology. Elsevier, 2013, roč. 2013, č. 232, s. 283-289. ISSN 0257-8972. doi:10.1016/j.surfcoat.2013.05.014.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply
Autoři SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí), Vít KUDRLE (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí).
Vydání Surface & coatings technology, Elsevier, 2013, 0257-8972.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Švýcarsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 2.199
Kód RIV RIV/00216224:14310/13:00066489
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014
UT WoS 000327691300037
Klíčová slova anglicky Magnetron sputtering; Diagnostics of deposition process; Nanocomposites; Metal – carbon coatings
Štítky AKR, rivok
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085. Změněno: 8. 4. 2014 13:53.
Anotace
Hybrid PVD – PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon (PECVD). This process can be used for preparation of metal carbon nanocomposites (MeC/C(:H)) or DLC layers doped with metal (DLC:Me). The aim of this paper is to describe and understand elementary processes in fl uencing the hybrid PVD – PECVD process. A non-monotonous dependence of cathode voltage and current, total pressure and spectral line intensities on acetylene supply fl ow is reported. Explanation of non- monotonous evolutions through the analysis of the target state correlating the process characteristics with properties of coatings prepared by this process is proposed.
Návaznosti
ED2.1.00/03.0086, projekt VaVNázev: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaVNázev: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Standardní projekty
GD104/09/H080, projekt VaVNázev: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Doktorské granty
Zobrazeno: 22. 1. 2022 19:54