SKÁCELOVÁ, Dana, Jan ČECH and Mirko ČERNÁK. PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON. In HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Contributions. Zinnowitz: Institute of Physics at the University of Greifswald and the Leibniz Institute for Plasma Science and Technology (INP Greifswald), 2014, p. 481-485.
Other formats:   BibTeX LaTeX RIS
Basic information
Original name PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON
Name in Czech Efekty plazmově-povrchových interakcí při modifikaci křemíku plazmatem za atmosférického tlaku
Authors SKÁCELOVÁ, Dana, Jan ČECH and Mirko ČERNÁK.
Edition Zinnowitz, HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Contributions, p. 481-485, 5 pp. 2014.
Publisher Institute of Physics at the University of Greifswald and the Leibniz Institute for Plasma Science and Technology (INP Greifswald)
Other information
Original language English
Type of outcome Proceedings paper
Field of Study 10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher Germany
Confidentiality degree is not subject to a state or trade secret
Publication form storage medium (CD, DVD, flash disk)
Organization unit Faculty of Science
Keywords (in Czech) interakce; plazma; povrch; bariérový výboj; koplanární; DCSBD; křemík
Keywords in English interaction; plasma; surface; barrier discharge;coplanar; DCSBD; Silicon
Tags NZ
Tags International impact, Reviewed
Changed by Changed by: Ing. Nicole Zrilić, učo 240776. Changed: 16/5/2018 16:17.
Abstract
The aim of this work is to study the characterization of plasma-surface interaction of silicon in DCSBD plasma. The influence of the plasma, generated in ambient air on the silicon surface properties with respect to the filamentary nature of DCSBD was studied. Surface properties and chemical composition of silicon were studied by SEM and EDX, respectively. The experimental data were successfully supported by the modeling.
Abstract (in Czech)
Cílem této práce je studium plazmově-povrchových interakcí plazmatu DCSBD s křemíkem. Studován byl vliv plazmatu generovaného ve vzduchu na povrchové vlastnosti křemíku s ohledem na filamentární povahu DCSBD výboje. Povrchové vlastnosti a chemické složení křemíku byly studovány pomocí SEM, resp. EDX. Získaná experimentální data byla úspěšně podpořena výsledky numerického modelování.
Links
ED2.1.00/03.0086, research and development projectName: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
PrintDisplayed: 18/6/2024 10:22