OBRUSNÍK, Adam a Zdeněk BONAVENTURA. Studying a low-pressure microwave coaxial discharge in hydrogen using a mixed 2D/3D fluid model. Journal of physics D: Applied physics. Bristol, England: IOP Publishing Ltd., 2015, roč. 48, č. 6, s. "nestránkováno", 17 s. ISSN 0022-3727. doi:10.1088/0022-3727/48/6/065201.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Studying a low-pressure microwave coaxial discharge in hydrogen using a mixed 2D/3D fluid model
Autoři OBRUSNÍK, Adam (203 Česká republika, domácí) a Zdeněk BONAVENTURA (203 Česká republika, garant, domácí).
Vydání Journal of physics D: Applied physics, Bristol, England, IOP Publishing Ltd. 2015, 0022-3727.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Velká Británie
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Impakt faktor Impact factor: 2.772
Kód RIV RIV/00216224:14310/15:00080658
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Doi http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/48/6/065201
UT WoS 000348842600006
Klíčová slova anglicky microwave plasma; hydrogen; low-pressure; fluid model; coaxial discharge; plasmaline; nanocrystalline diamond
Štítky AKR, podil, rivok
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnila: Ing. Andrea Mikešková, učo 137293. Změněno: 12. 4. 2016 13:32.
Anotace
This work presents a numerical model of hydrogen plasma in a microwave coaxial discharge at low pressure (25–250 Pa). The model is a mixed two-dimensional (2D)/three-dimensional (3D) model in that it combines three-dimensional geometry for the electromagnetic field and two-dimensional geometry for the transport equations. The model is validated against experimental results available in the literature and, where possible, simulations of comparable discharges. The model shows reasonable agreement in the relevant pressure range. A parametric study with respect to pressure is carried out and it is observed that the plasma contracts towards the quartz tube with increasing pressure. Increasing the pressure also influences the abundance of H + ions but on the other hand it has little impact on hydrogen dissociation degree and electron temperature. Furthermore, the uniformity of the plasma above the substrate holder is analyzed. It is observed that at pressures over 150 Pa, the plasma gets non-uniform in the direction parallel to the plasma lines. Finally, the uniformity of particle and energy fluxes to the substrate holder are analyzed. Knowing the fluxes is especially useful for the material applications of the device.
Návaznosti
GAP205/12/0908, projekt VaVNázev: Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev
VytisknoutZobrazeno: 16. 5. 2022 14:58