NEČAS, David, Ivan OHLÍDAL, Daniel FRANTA, Miloslav OHLÍDAL, Vladimír ČUDEK a Jiří VODÁK. Measurement of thickness distribution, optical constants, and roughness parameters of rough nonuniform ZnSe thin films. Applied Optics. USA: Optical Society of America, 2014, roč. 53, č. 25, s. 5606-5614. ISSN 1559-128X. doi:10.1364/AO.53.005606.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Measurement of thickness distribution, optical constants, and roughness parameters of rough nonuniform ZnSe thin films
Autoři NEČAS, David (203 Česká republika, garant, domácí), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika, domácí), Daniel FRANTA (203 Česká republika, domácí), Miloslav OHLÍDAL (203 Česká republika), Vladimír ČUDEK (203 Česká republika, domácí) a Jiří VODÁK (203 Česká republika).
Vydání Applied Optics, USA, Optical Society of America, 2014, 1559-128X.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10306 Optics
Stát vydavatele Spojené státy
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Impakt faktor Impact factor: 1.784
Kód RIV RIV/00216224:14740/14:00073332
Organizační jednotka Středoevropský technologický institut
Doi http://dx.doi.org/10.1364/AO.53.005606
UT WoS 000341644300005
Klíčová slova anglicky CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; II-VI COMPOUNDS; SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY; LARGE-AREA; SURFACE-ROUGHNESS; LIGHT-SCATTERING; DOUBLE-LAYERS; SUM-RULE; BOUNDARIES; DEPOLARIZATION
Štítky kontrola MP, MP, podil, rivok
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnila: Martina Prášilová, učo 342282. Změněno: 30. 3. 2015 11:54.
Anotace
Epitaxial ZnSe thin films exhibiting two important defects, i.e., boundary roughness and thickness nonuniformity, prepared on GaAs substrates, are optically characterized using a combination of variable-angle spectroscopic ellipsometry, spectroscopic near-normal reflectometry, and imaging spectroscopic reflectometry (ISR). The influence of boundary roughness is incorporated into optical quantity formulas by the Rayleigh-Rice theory. Thickness nonuniformity is included using averaging of the unnormalized Mueller matrices. The dispersion model of the optical constants of the ZnSe films is based on parametrization of the joint density of electronic states. Very thin overlayers represented by thin films with identically rough boundaries are taken into account on the upper boundaries of the ZnSe films. Standard optical techniques are used to determine the spectral dependencies of the optical constants of the ZnSe films, together with the parameters of roughness and thickness nonuniformity. ISR is then used to find the maps of the local thickness and local rms value of height irregularities. The values of roughness parameters, determined using the standard techniques and ISR, are verified by a comparison with results obtained by atomic force microscopy. (C) 2014 Optical Society of America
Návaznosti
ED1.1.00/02.0068, projekt VaVNázev: CEITEC - central european institute of technology
ED2.1.00/03.0086, projekt VaVNázev: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
TA02010784, projekt VaVNázev: Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu
Investor: Technologická agentura ČR, Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu
VytisknoutZobrazeno: 16. 5. 2022 15:14