G 2014

Antireflexní vrstva z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

BŘEZINA, Jaromír and Ivan OHLÍDAL

Basic information

Original name

Antireflexní vrstva z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

Name (in English)

Antireflection coating consisting of Al2O3/SiO2 materials for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm

Authors

BŘEZINA, Jaromír (203 Czech Republic) and Ivan OHLÍDAL (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution)

Edition

2014

Other information

Language

Czech

Type of outcome

Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)

Field of Study

10306 Optics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

obsah podléhá obchodnímu tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/14:00073341

Organization unit

Faculty of Science

Keywords in English

multi-layer antireflection coating; Al2O3/SiO2 materials; deep ultraviolet (DUV) region; wavelength of 266nm

Technical parameters

R <0.25% pro 266nm deg 0
Změněno: 9/4/2015 10:08, Mgr. David Nečas, Ph.D.

Abstract

ORIG EN

V originále

*Vícenásobná antireflexní vrstva z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

In English

*Multi-layer antireflection coating consisting of Al2O3/SiO2 materials for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm

Links

TA02010784, research and development project
Name: Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu
Investor: Technology Agency of the Czech Republic