BŘEZINA, Jaromír and Daniel FRANTA. Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6° (Beamsplitter for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm and angle of incident 45°±6°). 2015.
Other formats:   BibTeX LaTeX RIS
Basic information
Original name Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°
Name (in English) Beamsplitter for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm and angle of incident 45°±6°
Authors BŘEZINA, Jaromír (203 Czech Republic) and Daniel FRANTA (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution).
Edition 2015.
Other information
Original language Czech
Type of outcome Outcomes put into operation (prototype, working sample)
Field of Study 10306 Optics
Country of publisher Czech Republic
Confidentiality degree contents are subject to a state secret
RIV identification code RIV/00216224:14310/15:00080451
Organization unit Faculty of Science
Keywords in English beamsplitter; HfO2/SiO2; deep ultraviolet (DUV) region; wavelength of 266nm; BS 80/20
Technical parameters Tp,Ts=81±1% pro 266nm 45±6deg Rp,Rs=16±3% pro 266nm 45±6deg. Výsledek byl vyroben na základě ověření vlastností.
Tags AKR, rivok
Changed by Changed by: Ing. Andrea Mikešková, učo 137293. Changed: 3/4/2016 12:18.
Abstract
*Dělič světla (propustnost 81% odrazivost 16%) pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°. Výsledek byl vyroben na základě ověření vlastností.
Abstract (in English)
*Beamsplitter (transmission 81% reflectance 16%) for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm and angle of incident 45°±6°. The result was made based on the verification of properties.
Links
TA02010784, research and development projectName: Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu
Investor: Technology Agency of the Czech Republic
PrintDisplayed: 25/6/2024 07:19