Detailed Information on Publication Record
2015
Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°
BŘEZINA, Jaromír and Daniel FRANTABasic information
Original name
Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°
Name (in English)
Beamsplitter for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm and angle of incident 45°±6°
Authors
BŘEZINA, Jaromír (203 Czech Republic) and Daniel FRANTA (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution)
Edition
2015
Other information
Language
Czech
Type of outcome
Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
Field of Study
10306 Optics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
obsah podléhá obchodnímu tajemství
RIV identification code
RIV/00216224:14310/15:00080451
Organization unit
Faculty of Science
Keywords in English
beamsplitter; HfO2/SiO2; deep ultraviolet (DUV) region; wavelength of 266nm; BS 80/20
Technical parameters
Tp,Ts=81±1% pro 266nm 45±6deg Rp,Rs=16±3% pro 266nm 45±6deg. Výsledek byl vyroben na základě ověření vlastností.
Změněno: 3/4/2016 12:18, Ing. Andrea Mikešková
V originále
*Dělič světla (propustnost 81% odrazivost 16%) pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°. Výsledek byl vyroben na základě ověření vlastností.
In English
*Beamsplitter (transmission 81% reflectance 16%) for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm and angle of incident 45°±6°. The result was made based on the verification of properties.
Links
| TA02010784, research and development project |
|