Detailed Information on Publication Record
2017
STUDY OF NITROGEN DOPED ORGANOSILICON PLASMA POLYMER THIN FILMS
BITTNEROVÁ, Štěpánka, Vilma BURŠÍKOVÁ, Monika STUPAVSKÁ and Vojtěch HOMOLABasic information
Original name
STUDY OF NITROGEN DOPED ORGANOSILICON PLASMA POLYMER THIN FILMS
Name in Czech
Studium dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev
Authors
BITTNEROVÁ, Štěpánka (203 Czech Republic, belonging to the institution), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution), Monika STUPAVSKÁ (703 Slovakia, belonging to the institution) and Vojtěch HOMOLA (203 Czech Republic)
Edition
Brno, 8TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2016), p. 727-732, 6 pp. 2017
Publisher
TANGER Ltd
Other information
Language
English
Type of outcome
Stať ve sborníku
Field of Study
10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
Publication form
storage medium (CD, DVD, flash disk)
RIV identification code
RIV/00216224:14310/17:00095984
Organization unit
Faculty of Science
ISBN
978-80-87294-71-0
UT WoS
000410656100126
Keywords (in Czech)
tenké vrstvy; hexamethyldisiloxan; PECVD; FTIR; XPS; AFM; nanoindentace
Keywords in English
thin films; hexamethyldisiloxane; PECVD; FTIR; XPS; AFM; nanoindentation
Tags
International impact, Reviewed
Změněno: 24/3/2018 16:25, Ing. Nicole Zrilić
V originále
Plasma polymerized hexamethyldisiloxane coatings have been attracting interest of many researches. Due to their properties, these materials have a great potential to succeed in large field of applications such as protective anti-scratch layers on plastic substrates, corrosion protection coatings, barrier films for pharmaceutical packaging etc. Functionalized organosilicon plasma polymers have been investigated for development of unique biomaterials. Addition of a suitable dopant during plasma polymerization is one of the ways to form specific functionalities modulating chemistry, physical properties as well as biocompatibility of the films. In the present work, low pressure RF capacitively coupled discharge was used to deposit organosilicon thin films with nitrogen-containing functional groups on single crystalline silicon substrates. Resulting plasma polymers were investigated by several methods aimed primarily at determination of chemical composition, surface microstructure and mechanical properties. The present study includes results of Fourier transform infrared spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, confocal microscopy, atomic force microscopy and nanoindentation, and their comparison with respect to deposition parameters.
In Czech
Přidání vhodného dopantu během plazmové polymerace je jedním ze způsobů, jak vytvářet specifické funkční skupiny modifikující chemii, fyzikální vlastnosti a biokompatibilitu filmů. V současných pracích se používal nízkotlaký RF kapacitně vázaný výboj pro přípravu tenkých vrstev s funkčními skupinami obsahujícími dusík na substráty monokrystalického křemíku. Výsledné plazmové polymery byly zkoumány několika metodami zaměřenými především na stanovení chemického složení, povrchové mikrostruktury a mechanických vlastností. Součástí této studie jsou výsledky FT infračervené spektroskopie, rentgenové fotoelektronové spektroskopie, konfokální mikroskopie, mikroskopie atomárních sil a nanoindentace.
Links
| LO1411, research and development project |
|