D
2015
Wide spectral range characterization of antireflective coatings and their optimization
FRANTA, Daniel, David NEČAS, Ivan OHLÍDAL a Jiří JANKUJ
Základní údaje
Originální název
Wide spectral range characterization of antireflective coatings and their optimization
Název česky
Charakterizace antiodrazných pokrytí a jejich optimalizace v širokém spektrálním oboru
Autoři
FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant, domácí), David NEČAS (203 Česká republika, domácí),
Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika, domácí) a Jiří JANKUJ (203 Česká republika)
Vydání
9628. vyd. BELLINGHAM, USA, Conference on Optical Systems Design - Optical Fabrication, Testing, and Metrology V, od s. "96280F-1"-"96280F-14", 14 s. 2015
Nakladatel
SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING
Další údaje
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Forma vydání
tištěná verze "print"
Kód RIV
RIV/00216224:14310/15:00094361
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
antireflective coatings; optical thin films; ellipsometry; spectrophotometry
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
V originále
Development of antireflective coatings realized by thin film systems requires their characterization and optimization of their properties. Functional properties of such interference devices are determined by optical constants and thicknesses of the individual films and various defects taking place in these systems. In optics industry the characterization of the films is mostly performed in a relatively narrow spectral range using simple dispersion models and, moreover, the defects are not taken into account at all. This manner of characterization fails if applied to real-world non-ideal thin film systems because the measured data do not contain sufficient information about all the parameters describing the system including imperfections. Reliable characterization requires the following changes: extension of spectral range of measurements, combination of spectrophotometry and ellipsometry, utilization of physically correct dispersion models (Kramers-Kronig consistency, sum rules), inclusion of structural defects instrument imperfection into the models and simultaneous processing of all experimental data. This enables us to remove or reduce a correlation among the parameters searched so that correct and sufficiently precise determination of parameter values is achieved. Since the presence and properties of the defects are difficult to control independently by tuning of the deposition conditions, the optimization does not in general involve the elimination of defects. Instead they are taken into account in the design of the film systems. The outlined approach is demonstrated on the characterization and optimization of ultraviolet antireflective coating formed by double layer of Al2O3 and MgF2 deposited on fused silica.
Návaznosti
ED1.1.00/02.0068, projekt VaV | Název: CEITEC - central european institute of technology |
|
ED2.1.00/03.0086, projekt VaV | Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy |
|
LO1411, projekt VaV | Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus) | Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy |
|
TA02010784, projekt VaV | Název: Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu | Investor: Technologická agentura ČR, Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu |
|
Zobrazeno: 11. 11. 2024 02:24