J 2017

Strain Engineering in Highly Mismatched SiGe/Si Heterostructures

ISA, Fabio, Arik JUNG, Marco SALVALAGLIO, Yadira Arroyo Rojas DASILVA, Ivan MAROZAU et. al.

Základní údaje

Originální název

Strain Engineering in Highly Mismatched SiGe/Si Heterostructures

Název česky

Deformační inženýrství ve velmi nepřizpůsobených SiGe/Si Heterostrukturách

Autoři

ISA, Fabio (756 Švýcarsko), Arik JUNG (756 Švýcarsko), Marco SALVALAGLIO (276 Německo), Yadira Arroyo Rojas DASILVA (756 Švýcarsko), Ivan MAROZAU (756 Švýcarsko), Mojmír MEDUŇA (203 Česká republika, garant, domácí), Michael BARGET (380 Itálie), Anna MARZEGALLI (380 Itálie), Giovanni ISELLA (380 Itálie), Rolf ERNI (756 Švýcarsko), Fabio PEZZOLI (380 Itálie), Emiliano BONERA (380 Itálie), Philippe NIEDERMANN (756 Švýcarsko), Olha SEREDA (756 Švýcarsko), Pierangelo GRONING (756 Švýcarsko), Francesco MONTALENTI (380 Itálie) a Hans VON KAENEL (756 Švýcarsko)

Vydání

Materials Science in Semiconductor Processing, Oxford, Elsevier Science, 2017, 1369-8001

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 2.593

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00097339

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

DOI

http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2016.08.019

UT WoS

000410870900022

Klíčová slova česky

Deformační inženýrství; Dislokace; Elastická relaxace; Vzorkované substráty; SiGe

Klíčová slova anglicky

Strain engineering; Dislocations; Elastic relaxation; Patterned substrates; SiGe

Štítky

NZ, rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 11. 4. 2018 23:45, Ing. Nicole Zrilić

Anotace

ORIG CZ

V originále

In this work we present an innovative approach to realise coherent, highly-mismatched 3-dimensional heterostructures on substrates patterned at the micrometre-scale.

Česky

V této práci předkládáme inovativní přístup k realizaci koherentních, vysoce nepřizpůsobených 3-rozměrných heterostruktur na substrátech vzorkovaných v měřítku mikrometru.
Zobrazeno: 17. 11. 2024 06:33