Informační systém MU
KLENOVSKÝ, Petr, Jaroslav ZŮDA, Petr KLAPETEK a Josef HUMLÍČEK. Ellipsometry of surface layers on a 1-kg sphere from natural silicon. Applied Surface Science. AMSTERDAM: ELSEVIER SCIENCE BV, 2017, roč. 421, January, s. 542-546. ISSN 0169-4332. doi:10.1016/j.apsusc.2016.08.135.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Ellipsometry of surface layers on a 1-kg sphere from natural silicon
Autoři KLENOVSKÝ, Petr (203 Česká republika, domácí), Jaroslav ZŮDA (203 Česká republika), Petr KLAPETEK (203 Česká republika, domácí) a Josef HUMLÍČEK (203 Česká republika, garant, domácí).
Vydání Applied Surface Science, AMSTERDAM, ELSEVIER SCIENCE BV, 2017, 0169-4332.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Nizozemsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 4.439
Kód RIV RIV/00216224:14310/17:00097975
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.08.135
UT WoS 000408756700043
Klíčová slova anglicky Silicon; Surface layers; Ellipsometry; 1-kg mass standard
Štítky NZ, rivok
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnila: Ing. Nicole Zrilić, učo 240776. Změněno: 3. 4. 2018 14:21.
Anotace
We have investigated surface layers on a monocrystalline float-zone, n-type ( 2400-2990 Ohm.cm) sphere with the diameter of 93.6004 mm. Ellipsometric spectra in the visible-ultraviolet range reveals the presence of thin layers of amorphous Si as well as oxide overlayer. We have also prepared a series of flat Si samples, polished using slurries with 1-6 mu m grits; the overlayers were examined by mid-infrared ellipsometry, including the range of polar vibrations of the Si O bonds. AFM measurements on the sphere were used to test the models of its surface. (C) 2016 Elsevier B.V. All rights reserved.
Anotace česky
Studovali jsme povrchové vrstvy na monokrystalické kouli z n-typu zonálního křemíku ( 2400-2990 Ohm.cm) s průměrem 93.6004 mm. Elipsometrická spektra ve viditelné a ultrafialové oblasti dokumentují přítomnost tenkých vrstev amorfního Si a oxidu křemíku, Připravili jsme rovněž sérii plochých vzorků Si, leštěných pomocí zrn v rozsahu 1-6 mikronů; tyto vzorky byly zkoumány elipsometrickou technikou ve střední infračervené oblasti, včetně oboru poláírních vibrací vazeb Si-O. Modely povrchu koule byly testovány pomocí měření AFM.
Návaznosti
LQ1601, projekt VaVNázev: CEITEC 2020 (Akronym: CEITEC2020)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Národní program udržitelnosti II (LQ)
Zobrazeno: 27. 9. 2021 06:52