Boron-based thin layers deposited by RF plasma jet with slit nozzle

PIJÁKOVÁ, Barbora, Milan ALBERTI and Miloš KLÍMA. Boron-based thin layers deposited by RF plasma jet with slit nozzle. In Cernak, M; Hoder, T. ALBERTI, Milan and Miloš KLÍMA. HAKONE XV: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON HIGH PRESSURE LOW TEMPERATURE PLASMA CHEMISTRY: WITH JOINT COST TD1208 WORKSHOP: NON-EQUILIBRIUM PLASMAS WITH LIQUIDS FOR WATER AND SURFACE TREATMENT. Brno: Masarykova univerzita, 2016, p. 326-329. ISBN 978-80-210-8318-9.

Basic information

Original name

Boron-based thin layers deposited by RF plasma jet with slit nozzle

Name in Czech

Tenké vrstvy na báze bóru deponované RF plazmovou štrbinovou tryskou

Authors

PIJÁKOVÁ, Barbora (703 Slovakia, guarantor, belonging to the institution), Milan ALBERTI (203 Czech Republic, belonging to the institution) and Miloš KLÍMA (203 Czech Republic, belonging to the institution)

Edition

Brno, HAKONE XV: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON HIGH PRESSURE LOW TEMPERATURE PLASMA CHEMISTRY: WITH JOINT COST TD1208 WORKSHOP: NON-EQUILIBRIUM PLASMAS WITH LIQUIDS FOR WATER AND SURFACE TREATMENT, p. 326-329, 4 pp. 2016

Publisher

Masarykova univerzita

---

Other information

Language

English

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

Publication form

printed version "print"

RIV identification code

RIV/00216224:14310/16:00094407

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

978-80-210-8318-9

UT WoS

000393033200078

Keywords (in Czech)

koeficient tření; RF plazmová tryska; trimethylester kyseliny borité

Keywords in English

friction coefficient; RF plasma jet; trimethyl borate

Tags

NZ, rivok

Tags

Reviewed

---

Abstract

V originále

Preparation of thin layers with low friction coefficient using RF atmospheric pressure plasma slit jet system with addition of organic precursor aerosol.

In Czech

Příprava tenkých vrstev s nízkým koeficientem tření pomocí systému RF atmosferických plazmových štěrbinových trysek s přídavkem aerosolu organického prekurzoru.

---

Links

ED2.1.00/03.0086, research and development project	Name: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
LO1411, research and development project	Name: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Acronym: CEPLANT plus) Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR
TE02000011, research and development project	Name: Centrum výzkumu povrchových úprav (Acronym: povrchovky) Investor: Technology Agency of the Czech Republic