Method for reducing or removing organic and inorganic contamination from a vacuum system of imaging and analytical devices and device for carrying it out

SŤAHEL, Pavel, Mirko ČERNÁK, Zdeněk NAVRÁTIL, Martin HANIČINEC, Jaroslav JIRUŠE a Jiří FIALA. Method for reducing or removing organic and inorganic contamination from a vacuum system of imaging and analytical devices and device for carrying it out. Patent. Číslo: US9,782,805. Vydavatel: United States Patent and Trademark Office. Místo vydání: US. Název vlastníka: Masarykova univerzita, Tescan Orsay Holding a.s. Datum registrace: 29. 1. 2015. Datum přijetí: 10. 10. 2017. 2017.

Základní údaje

• Originální název: Method for reducing or removing organic and inorganic contamination from a vacuum system of imaging and analytical devices and device for carrying it out
• Název česky: Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění
• Autoři: SŤAHEL, Pavel (203 Česká republika, garant, domácí), Mirko ČERNÁK (703 Slovensko, domácí), Zdeněk NAVRÁTIL (203 Česká republika, domácí), Martin HANIČINEC (203 Česká republika), Jaroslav JIRUŠE (203 Česká republika) a Jiří FIALA (203 Česká republika).
• Vydání: Číslo: US9,782,805, Vydavatel: United States Patent and Trademark Office, Místo vydání: US, Název vlastníka: Masarykova univerzita, Tescan Orsay Holding a.s. 2017.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Patent
• Obor: 20501 Materials engineering
• Stát vydavatele: Spojené státy
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• WWW: URL
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/17:00100412
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova česky: organická kontaminace snížení; zobrazovací analytické systémy
• Klíčová slova anglicky: organic contamination reducing; imaging analytical systems
• Štítky: NZ, rivok
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

A method for reducing or removing organic and/or inorganic contamination from a vacuum system of imaging and analytical devices, wherein at least a portion of the area of the inner surface of the vacuum space of the vacuum system is provided with a photocatalytic layer, at least a portion of this photocatalytic layer being cooled to a temperature in the range of 0 K to 280 K, whereby the photocatalytic layer is afterwards at least partially irradiated by electromagnetic radiation, which activates a photocatalytic reaction of the photocatalytic layer with the adsorbed gases of the atmosphere of the inner vacuum space of the vacuum system, where this reaction decomposes the contaminants, reducing their concentration and/or the concentration of water in the inner vacuum space of the vacuum system.

Anotace česky

Způsob snížení nebo odstranění organické a / nebo anorganické kontaminace z vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení, přičemž alespoň část plochy vnitřního povrchu vakuového prostoru vakuového systému je opatřena fotokatalytickou vrstvou, přičemž alespoň část této fotokatalytické vrstvy je ochlazena na teplotu v rozmezí od 0 do 280 K, přičemž fotokatalytická vrstva je následně alespoň částečně ozařována elektromagnetickým zářením, který aktivuje fotokatalytickou reakci fotokatalytické vrstvy s adsorbovanými plyny atmosféru vnitřního vakuového prostoru vakuového systému, kde tato reakce rozkládá kontaminující látky, snižuje jejich koncentraci a / nebo koncentraci vody ve vnitřním vakuovém prostoru vakuového systému.

Návaznosti

• ED2.1.00/03.0086, projekt VaV: Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• LO1411, projekt VaV: Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy