Detailed Information on Publication Record
2017
Method for reducing or removing organic and inorganic contamination from a vacuum system of imaging and analytical devices and device for carrying it out
SŤAHEL, Pavel, Mirko ČERNÁK, Zdeněk NAVRÁTIL, Martin HANIČINEC, Jaroslav JIRUŠE et. al.Basic information
Original name
Method for reducing or removing organic and inorganic contamination from a vacuum system of imaging and analytical devices and device for carrying it out
Name in Czech
Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění
Authors
SŤAHEL, Pavel (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution), Mirko ČERNÁK (703 Slovakia, belonging to the institution), Zdeněk NAVRÁTIL (203 Czech Republic, belonging to the institution), Martin HANIČINEC (203 Czech Republic), Jaroslav JIRUŠE (203 Czech Republic) and Jiří FIALA (203 Czech Republic)
Edition
Number: US9,782,805, Publisher: United States Patent and Trademark Office, Place of publication: US, Owner's name: Masarykova univerzita, Tescan Orsay Holding a.s. 2017
Other information
Language
English
Type of outcome
Patent
Field of Study
20501 Materials engineering
Country of publisher
United States of America
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
References:
RIV identification code
RIV/00216224:14310/17:00100412
Organization unit
Faculty of Science
Keywords (in Czech)
organická kontaminace snížení; zobrazovací analytické systémy
Keywords in English
organic contamination reducing; imaging analytical systems
Tags
International impact, Reviewed
Změněno: 6/4/2018 14:46, Ing. Nicole Zrilić
V originále
A method for reducing or removing organic and/or inorganic contamination from a vacuum system of imaging and analytical devices, wherein at least a portion of the area of the inner surface of the vacuum space of the vacuum system is provided with a photocatalytic layer, at least a portion of this photocatalytic layer being cooled to a temperature in the range of 0 K to 280 K, whereby the photocatalytic layer is afterwards at least partially irradiated by electromagnetic radiation, which activates a photocatalytic reaction of the photocatalytic layer with the adsorbed gases of the atmosphere of the inner vacuum space of the vacuum system, where this reaction decomposes the contaminants, reducing their concentration and/or the concentration of water in the inner vacuum space of the vacuum system.
In Czech
Způsob snížení nebo odstranění organické a / nebo anorganické kontaminace z vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení, přičemž alespoň část plochy vnitřního povrchu vakuového prostoru vakuového systému je opatřena fotokatalytickou vrstvou, přičemž alespoň část této fotokatalytické vrstvy je ochlazena na teplotu v rozmezí od 0 do 280 K, přičemž fotokatalytická vrstva je následně alespoň částečně ozařována elektromagnetickým zářením, který aktivuje fotokatalytickou reakci fotokatalytické vrstvy s adsorbovanými plyny atmosféru vnitřního vakuového prostoru vakuového systému, kde tato reakce rozkládá kontaminující látky, snižuje jejich koncentraci a / nebo koncentraci vody ve vnitřním vakuovém prostoru vakuového systému.
Links
| ED2.1.00/03.0086, research and development project |
| ||
| LO1411, research and development project |
|