J 2019

Enhanced permeability dielectric thin films with tailored properties deposited by magnetron sputtering on silicon

FALUB, Claudiu V., Srinivas V. PIETAMBARAM, Oguz YILDIRIM, Mojmír MEDUŇA, Ondřej CAHA et. al.

Základní údaje

Originální název

Enhanced permeability dielectric thin films with tailored properties deposited by magnetron sputtering on silicon

Název česky

Dielektrické tenké vrstvy se zvýšenou permeabilitou a s přizpůsobenými vlastnostmi nanášené magnetronovým naprašováním na křemíku

Autoři

FALUB, Claudiu V. (642 Rumunsko), Srinivas V. PIETAMBARAM (840 Spojené státy), Oguz YILDIRIM (756 Švýcarsko), Mojmír MEDUŇA (203 Česká republika, garant, domácí), Ondřej CAHA (203 Česká republika, domácí), Rachid HIDA (250 Francie), Xue ZHAO (756 Švýcarsko), Jan AMBROSINI (756 Švýcarsko), Hartmut ROHRMANN (756 Švýcarsko) a Hans J. HUG (756 Švýcarsko)

Vydání

AIP Advances, New York, AMER INST PHYSICS, 2019, 2158-3226

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Full Text

Impakt faktor

Impact factor: 1.337

Kód RIV

RIV/00216224:14310/19:00108996

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

DOI

http://dx.doi.org/10.1063/1.5079477

UT WoS

000462880300145

Klíčová slova anglicky

Magnetic hysteresis; Metal oxides; X-ray diffraction; Magnetron sputtering; X-ray reflectivity; X-ray fluorescence

Štítky

rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 13. 3. 2020 11:00, Mgr. Marie Šípková, DiS.

Anotace

ORIG CZ

V originále

We have studied the structural and magnetic properties of enhanced-permeability-dielectric (EPD) FeCo/Al2O3-multilayer thin films deposited on 8”-Si wafers in an industrial magnetron sputtering system.

Česky

Studovali jsme strukturní a magnetické vlastnosti dielektrik s rozšířenou permeabilitou (EPD) FeCo / Al2O3 - vícevrstvé tenké vrstvy nanesené na destičkách 8 "-Si v průmyslovém magnetronovém naprašovacím systému.

Návaznosti

LM2015041, projekt VaV
Název: CEITEC Nano
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, CEITEC Nano
LQ1601, projekt VaV
Název: CEITEC 2020 (Akronym: CEITEC2020)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, CEITEC 2020
Zobrazeno: 13. 11. 2024 22:36