V 2018

Souhrnná výzkumná zpráva pro depozici magnetronem

HNILICA, Jaroslav, Peter KLEIN, Katarína BERNÁTOVÁ, Marta ŠLAPANSKÁ, Petr VAŠINA et. al.

Basic information

Original name

Souhrnná výzkumná zpráva pro depozici magnetronem

Name in Czech

Souhrnná výzkumná zpráva pro depozici magnetronem

Name (in English)

Research report for magnetron deposition

Authors

HNILICA, Jaroslav (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution), Peter KLEIN (703 Slovakia, belonging to the institution), Katarína BERNÁTOVÁ (703 Slovakia, belonging to the institution), Marta ŠLAPANSKÁ (203 Czech Republic, belonging to the institution) and Petr VAŠINA (203 Czech Republic, belonging to the institution)

Edition

Brno, 16 pp. 2018

Publisher

MU

Other information

Language

Czech

Type of outcome

Výzkumná zpráva

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/18:00101874

Organization unit

Faculty of Science

Keywords in English

magnetron sputtering; deposition process; QCM; HFM
Změněno: 10/1/2019 13:05, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.

Abstract

ORIG EN

V originále

Výzkumná zpráva shrnuje výsledky prováděných v rámci projektu TAČR ZETA.

In English

The research report summarizes the results of the TAČR ZETA project.

Links

TJ01000157, research and development project
Name: Optimalizace procesu depozice průmyslových ochranných povlaků
Investor: Technology Agency of the Czech Republic