Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS

BERNÁTOVÁ, Katarína, Matej FEKETE, Peter KLEIN, Jaroslav HNILICA and Petr VAŠINA. Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS. In Workshop on Plasma-Based Synthesis of Nanomaterials. 2020.

Basic information

• Original name: Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS
• Name in Czech: Vplyv prietoku dusíka na hustotu rozprášených častíc v reaktívnom HiPIMS
• Authors: BERNÁTOVÁ, Katarína, Matej FEKETE, Peter KLEIN, Jaroslav HNILICA and Petr VAŠINA.
• Edition: Workshop on Plasma-Based Synthesis of Nanomaterials, 2020.

Other information

• Original language: English
• Type of outcome: Conference abstract
• Field of Study: 10305 Fluids and plasma physics
• Country of publisher: Czech Republic
• Confidentiality degree: is not subject to a state or trade secret
• WWW: Workshop zameraný na nanomateriály pripravené plazmovými metódami za nízkeho alebo atmosferického tlaku.
• Organization unit: Faculty of Science
• Keywords (in Czech): reaktivní HiPIMS; hustota částic; titan; ionizační stupeň
• Keywords in English: reactive HiPIMS; density; titanium; ionized density fraction

Abstract

Adding a reactive gas into the HiPIMS process opens up a new alley of producing novel materials with a wide range of different compositions. The temporal evolution of the absolute number of the sputtered titanium atoms and ions, the ionized density fraction in the target region and the ion flux in the substrate region in reactive HiPIMS process for different partial pressures of the reactive gas are presented in this contribution.

Abstract (in Czech)

Pridaním reaktívneho plynu do HiPIMS procesu vznikajú nové možnosti deponovať nové typy materiálov s rôznym zložením. V tomto príspevku bola skúmaná časová závislosť hustoty rozprášených titánových atómov, iónov a ionizačného stupňa titánu v oblasti blízko povrchu terča a taktiež toku iónov na substrát v reaktívnom HiPIMS výboji.

Links

• GA19-00579S, research and development project: Name: Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev

Investor: Czech Science Foundation

• LM2018097, research and development project: Name: Centrum výzkumu a vývoje plazmatu a nanotechnologických povrchových úprav (Acronym: CEPLANT)

Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR